TiN中文名稱氮化鈦薄膜可以減輕切削刃邊材料的附著，提高切削力，改善工件的表面質量，成倍增加切削工具的使用壽命和耐用度。因此，TiN薄膜被適合用于低速切削工具、高速鋼切削、木板切削刀具和鉆頭的涂覆上。另外，TiN也是磨損部件的理想耐磨涂層，特別是由于其低的黏著傾向拓寬了在許多磨損系統中的應用，如汽車發動機的活塞密封環、各種軸承和齒輪等：此外，TiN還廣泛應用于成型技術工具涂層，如汽車工業中薄板成型工具的涂層等。DLC涂層相對光滑，粗糙度Ra為0.10μm,而TiN涂層Ra為0.16μm。威海加硬氮化鈦加工中心

TiN薄膜可以減輕切削刃邊材料的附著，提高切削力，改善工件的表面質量，成倍增加切削工具的使用壽命和耐用度。因此，TiN薄膜被適合用于低速切削工具、高速鋼切削、木板切削刀具和鉆頭的涂覆上。另外，TiN也是磨損部件的理想耐磨涂層，特別是由于其低的黏著傾向拓寬了在許多磨損系統中的應用，如汽車發動機的活塞密封環、各種軸承和齒輪等：此外，TiN還廣泛應用于成型技術工具涂層，如汽車工業中薄板成型工具的涂層等TiN薄膜無毒、質輕、強度高且具有優良的生物相容性，因此它是非常理想的醫用金屬材料，可用作植入人體的植入物和手術器械等閻。此外，氮化鈦薄膜還能作為其他優良生物相溶性薄膜的增強薄膜。國外的Nelea等人通過鍍制TiN薄膜中間層大幅度提高了醫用常用材料羥磷灰石薄膜(HA)的機械性能和附著力。北京鍍鈦氮化鈦服務電話無論在空氣中還是重油環境下，TiN涂層摩擦系數均高于DLC涂層，耐磨性低于DLC涂層。

在深亞微米(0.15μm及以下)集成電路制造中，后段工藝日趨重要，為降低阻容遲滯(RCDelay)，保證信號傳輸，減小功耗，有必要對后段工藝進行改進，Via阻擋層MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金屬有機物化學氣相淀積)TiN是其中重要研究課題之一。本論文基于薄膜電阻的理論分析，從厚度、雜質濃度和晶體結構三大薄膜電阻影響因素出發系統研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真實結構中的各種性質，重點是等離子體處理(PlasmaTreatment，PT)下的晶體生長，制備循環次數的選擇對薄膜雜質濃度、晶體結構及電阻性能的影響，不同工藝薄膜在真實結構中物理形貌、晶體結構和電阻性能的表現和規律，超薄TiN薄膜(＜5nm)的實際應用等。俄歇能譜、透射電子顯微鏡和方塊電阻測試證明PT作用下雜質濃度降低，同時晶體生長，薄膜致密化而電阻率降低。PT具有飽和時間和深度，較厚薄膜需多循環制備以充分處理，發現薄膜厚度較小時(本實驗條件下為4nm)，增加循環次數雖然進一步降低了雜質濃度，但會引入界面而使薄膜電阻率增加。通過TEM觀測發現由于等離子體運動的各向異性，真實結構中PT效率在側壁遠低于頂部和底部，這導致側壁薄膜在PT后更厚。

本文研究了不同程度合金化高速鋼非涂層和物物理相沉積TiN涂層試樣的抗干滑動磨損性能、磨損機理以及不同高速鋼車刀片切削40Cr、GCr15和1Crl8Ni9Ti不銹鋼時涂層和非涂層刀具的切削性能。試驗表明,TiN涂層高速鋼耐磨性較非涂層鋼提高近一個數量級。低合金高速鋼D950和VascoDyne的耐磨性不亞于通用高速鋼M2。涂層試樣磨損機理主要為粘附-接觸疲勞剝落磨損。涂層刀具切削性能較非涂層刀具大為提高。涂層低合金高速鋼刀具性能不亞于涂層通用高速鋼M2。試驗結果表明,TiN涂層的應用為高速鋼特別是低合金高速鋼的開發應用提供了廣闊的前景,涂層刀具在中硬及難加工材料的切削加工方面有著應用的潛力。作為刀具涂層的薄膜材料Ti N不僅要具有較高的硬度，而且要具有優良的耐磨性、耐熱性、韌性和良好的穩定性。

自20世紀80年代以來，氮化鈦的研究受到了重視。氮化鈦化學性能穩定，具有較強的耐磨損、耐腐蝕性及良好的生物相容性。在口腔醫學中主要應用于切削及旋轉器械、種植體和義齒等表面鍍膜，以增強其耐磨損性及生物安全性。氮化鈦涂層作為一種新型陶瓷涂層，由于具有高熔點、高硬度、高溫化學穩定性、高耐磨性及高耐腐蝕性能等優點，已被廣泛應用于切削刀具、高溫結構材料和抗磨抗蝕部件上。在不銹鋼表面制備一層氮化鈦涂層來進行表面改性，可有效提高其表面力學性能、耐蝕性能和生物兼容性能，有利于不銹鋼在航空航天、艦船兵器、石油化工、生物醫學等領域應用。TiN熔點比大多數過渡金屬氮化物的熔點高，而密度卻比大多數金屬氮化物低。泰州氮化鈦服務電話

氮化鈦生物兼容性高，可以應用于臨床醫學和口腔醫學方面。威海加硬氮化鈦加工中心

TiN薄膜的研究工作早在20世紀60年代已開始進行，但因材料和器件制備上的困難，使研究工作一度轉入低潮。后來隨著薄膜制備技術的提高，國內外對TiN薄膜的研究工作又開始活躍起來，制備方法也多樣化了，目前已取得很大進展。TiN薄膜的制備方法主要可分為物理物物理相沉積、化學氣相沉積兩大類。應用于工業的各個領域。TiN薄膜無毒、質輕、強度高且具有優良的生物相容性，因此它是非常理想的醫用金屬材料，可用作植入人體的植入物和手術器械等閻。此外，氮化鈦薄膜還能作為其他優良生物相溶性薄膜的增強薄膜。國外的Nelea等人通過鍍制TiN薄膜中間層大幅度提高了醫用常用材料羥磷灰石薄膜(HA)的機械性能和附著力。威海加硬氮化鈦加工中心