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    圖5為本實用新型實施例提供的溝槽柵結構制作方法的流程圖。圖中：1為多晶硅層，2為氧化層，21為***氧化層，22為第二氧化層，23為**氧化層，3為光刻膠。具體實施方式下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例**是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。圖4示出了本實施例提供的一種溝槽柵igbt示意圖，包括半導體襯底和設置在半導體襯底表面內的兩個溝槽柵結構，兩個溝槽柵結構對稱，溝槽柵結構設置有多晶硅層1和包圍多晶硅層1的氧化層2，氧化層包括***氧化層21和第二氧化層22，***氧化層21設置在溝道區，第二氧化層22設置在非溝道區，第二氧化層22的厚度大于***氧化層21的厚度，與現有技術相比，本實施例提供的溝槽柵igbt氧化層2的厚度大于現有技術中的厚度，因此本實施例的結電容更小。需要說明的是，本實施例減小結電容的方式是通過增加溝槽內非溝道區第二氧化層22的厚度，***氧化層21厚度不變，因此本實施例在減小結電容的同時并不會造成器件整體性能變差。北京哪些是模塊量大從優雖然IGBT聽著**，但基本上用電的地方都有IGBT的身影。

    作為本實用新型的進一步方案：所述變壓器隔離電路采用高頻隔離變壓器，其副邊有兩個**的繞組，輸出兩路隔離電源。與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型能夠有效保護igbt模塊，并且該實用新型原邊電路集成了死區電路、互鎖電路和保護電路，可以提高抗干擾能力，提高驅動電路可靠性。附圖說明圖1為本實用新型涉及的風電變流器驅動電路示意圖。圖2為本實用新型涉及的風電變流器的具體驅動電路。具體實施方式下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例**是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。請參閱圖1-2，實施例1：本實用新型實施例中，風電變流器的igbt驅動電路，包括原邊電路、隔離電路和副邊電路，原邊電路包括死區電路、互鎖電路、保護電路、15v電源輸入濾波電路和dc/dc電路，隔離電路包括變壓器隔離電路和光耦隔離電路，副邊電路包括±15v驅動電源、驅動電路和vce-sat檢測電路。原邊電路包括上下管的死區電路、互鎖電路和保護電路。

    該第二氧化層22的厚度為3000-5000a(如圖5c所示)，根據應用端對器件的開關特性需求，可以對第二氧化層22的厚度進行調節；s102：沉積光刻膠3(如圖5d所示)；s104：去除溝道區的光刻膠3，保留非溝道區的光刻膠3，從而保護溝槽內非溝道區的第二氧化層22不被蝕刻；s105：對第二氧化層22進行蝕刻(如圖5f所示)，然后去除溝槽內非溝道區保留的光刻膠3(如圖5g所示)；s106：在溝槽內沉積***氧化層21(如圖5h所示)；s107:沉積多晶硅層(如圖5i所示)，然后去除表面多余多晶硅層(如圖5j所示)。需要說明的是，本實施例提供的制作方法形成兩種厚度氧化層2沒有新增光刻流程，從而節省了光罩制作成本。綜上，本實施例提供的溝槽柵igbt及其制作方法可以降低現有技術中結構的結電容大小、提高了器件的開關特性，從而使得本實用新型可以應用于高頻場景。盡管已經示出和描述了本實用新型的實施例，對于本領域的普通技術人員而言，可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由所附權利要求及其等同物限定。反之，加反向門極電壓消除溝道，切斷基極電流，使IGBT關斷。

    死區電路的作用是：實現上下管驅動信號有一定的時間間隔td，例如上管驅動信號關閉后，需要等待td延時后才能開通下管驅動信號；互鎖電路的作用是：上下管驅動信號不能同時為有效，避免產生上下管驅動直通信號；保護電路的作用是：當副邊出現故障信號是，保護電路能夠同時關閉上下管驅動信號。15v電源輸入濾波電路的作用是：對輸入15v電源進行濾波，維持15v電源的穩定并且降低emc干擾。dc/dc電路的的作用是：15v電源高頻脈寬調制dc/dc。隔離電路包括：驅動光耦、反饋光耦和隔離變壓器。驅動光耦的作用是：傳遞原邊驅動信號給副邊電路，電氣隔離原邊低壓側和副邊高壓側。反饋光耦的作用是：傳遞副邊故障信號給原邊電路，電氣隔離原邊低壓側和副邊高壓側。隔離變壓器的作用是：輸出上下管驅動電源，電氣隔離原邊低壓側和副邊高壓側。副邊電路包括：±15v電源、驅動電路、vce-sat檢測電路。±15v電源的作用是：輸出igbt模塊所推薦的驅動電源。驅動電路的作用是：副邊驅動信號放大，推挽輸出。vce-sat檢測電路的作用是：檢測igbt模塊退飽和或過流信號，故障信號反饋給原邊。vce-sat檢測電路分別連接igbt模塊、驅動電路和光耦隔離電路。可以控制電機、變頻器、變壓器、電源、電抗器等電力電子設備。安徽模塊裝潢

當前市場上銷售的多為此類模塊化產品，一般所說的IGBT也指IGBT模塊。上海模塊零售價

    ○觸發板也可接入直流3V電壓和分流器75mV反饋信號進行直流負載的恒電流和恒電壓控制。（請通過JP1和JP3跳線選擇短接S4和S6進行直流閉環控制）。○觸發板可跟據不同要求場合取樣。觸發板還可以與單片機及相應檢測傳感器組成外閉環自動控制系統。2．可選擇三種的輸入模式：○4-20mA輸入。通過JP4跳線選擇短接S1。○0-10V輸入。通過JP4跳線選擇短接S2?！?-5V輸入。通過JP4跳線選擇短接S3。3．可外接溫控保護開關和復位開關：（請參考接線圖）。4．軟啟動調節：觸發板可通過VR3可調電阻設置調節軟啟動的時間，順時針方向調節為啟動時間更長。5．限流限壓保護：觸發板通過調節VR2設置限電流和限電壓門檻值，順時針方向調節為低。（如使用限壓功能請短接JP2跳線，不用此功能時斷開即可）。6．過流過壓保護：觸發板通過調節VR1設置過電流和過電壓門檻值，順時針方向調節為低。五、異常狀態排除法1、在較小的輸入控制信號時SCR接近100%輸出：○可能觸發器在閉環工作模式狀態下，沒有接入反饋信號，導致觸發器積分系統誤判，請接入閉環反饋信號?！鹩|發器在閉環工作模式時，負載電流過小?！饳z查反饋信號是否接正確。2、SCR無輸出，無電流或電壓：○面板PW指示燈不亮，SCR無法工作。上海模塊零售價

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