目前,在汽車發(fā)動(dòng)機(jī)領(lǐng)域,油底殼與曲軸箱、曲軸箱與缸體等密封面通常采用硅膠密封,這些硅膠密封面常因殘留有機(jī)物(如珩磨油、切削液、清洗液等)造成硅膠的附著力不足,從而導(dǎo)致密封失效,發(fā)動(dòng)機(jī)漏油。目前的常規(guī)工藝為涂膠前對涂膠面進(jìn)行人工擦拭,而人工擦拭存在諸多缺點(diǎn),無法達(dá)到清潔的要求。等離子清洗機(jī)的應(yīng)用能夠很好地解決這些問題,目前已經(jīng)應(yīng)用到光學(xué)行業(yè)、航空工業(yè)、半導(dǎo)體業(yè)等領(lǐng)域,并成為關(guān)鍵技術(shù),變得越來越重要。等離子清洗機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)涂膠面上的應(yīng)用:發(fā)動(dòng)機(jī)涂膠面殘留的有機(jī)物薄膜,通常為碳?xì)溲趸衔?CHO,);等離子清洗的過程如下:將壓縮空氣電離成低溫等離子體,通過噴槍噴射到涂膠表面,利用等離子體(主要利用壓縮空氣中的氧氣作為反應(yīng)氣體)對有機(jī)物的分解作用,將涂膠表面殘留的有機(jī)物進(jìn)行分解,以達(dá)到清潔目的。反應(yīng)過程主要有兩種:第一種化學(xué)反應(yīng),將壓縮空氣電離后獲得大量氧等離子體:氧等離子體與有機(jī)物作用,把有機(jī)物(CHO,)分解成二氧化碳和水,CHyOz+O*→H20+CO2,二種是物理反應(yīng),壓縮空氣電離成等離子體后,等離子體內(nèi)的高能粒子以高能量、高速度轟擊涂膠面表面,使分子分解。plasma等離子清洗機(jī)活化可確保對塑料、金屬、紡織品、玻璃、再生材料和復(fù)合材料進(jìn)行特別有效的表面改性。吉林晟鼎等離子清洗機(jī)生產(chǎn)廠家
等離子處理機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域:它具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,主要包括以下幾個(gè)方面:表面處理:可以用于金屬、陶瓷、塑料等材料的清洗、去污、活化、刻蝕等表面處理過程,提高材料的表面性能。材料改性:可以用于金屬材料的滲碳、滲氮、滲硼等表面改性過程,提高金屬材料的耐磨性、耐腐蝕性等性能。半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中具有重要作用,如晶圓清洗、薄膜沉積、光刻膠去除等過程都需要使用等離子處理機(jī)。微電子封裝:可以用于微電子封裝過程中的金屬焊盤活化、絕緣層刻蝕等過程,提高封裝器件的性能和可靠性。生物醫(yī)學(xué):可以用于生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的生物材料表面改性、細(xì)胞培養(yǎng)基制備等過程,提高生物材料的性能和生物相容性。湖南半導(dǎo)體封裝等離子清洗機(jī)攝像頭模組需在DB前、WB前、HM前、封裝前進(jìn)行真空等離子清洗,活化材料表面,提高親水性和黏附性能。
半導(dǎo)體封裝過程中,等離子清洗機(jī)扮演著至關(guān)重要的角色。在封裝前,芯片表面往往會(huì)殘留微量的有機(jī)物、金屬氧化物和微粒污染物,這些污染物不僅影響芯片的性能,還可能導(dǎo)致封裝過程中的失效。因此,清潔度成為了封裝工藝中不可或缺的一環(huán)。等離子清洗機(jī)利用高能等離子體對芯片表面進(jìn)行非接觸式的清洗。在清洗過程中,高能粒子轟擊芯片表面,打斷有機(jī)物的化學(xué)鍵,使其轉(zhuǎn)化為易揮發(fā)的小分子;同時(shí),等離子體中的自由基與金屬氧化物反應(yīng),將其還原為金屬單質(zhì)或易于清洗的化合物。此外,等離子體的高活性還能有效地去除微粒污染物,提高芯片表面的清潔度。相較于傳統(tǒng)的濕法清洗,等離子清洗具有更高的清潔度、更低的損傷率和更好的環(huán)境友好性。它不需要使用化學(xué)試劑,因此不會(huì)產(chǎn)生廢液,符合現(xiàn)代綠色制造的理念。
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)3種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下可以以第四中狀態(tài)存在,如太陽表面的物質(zhì)和地球大氣中電離層中的物質(zhì)。這類物質(zhì)所處的狀態(tài)稱為等離子體狀態(tài),又稱為物質(zhì)的第四態(tài)。等離子體中存在下列物質(zhì):處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子;處于jihuo狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子、分子;分子解離反應(yīng)過程中生成的紫外線;未反應(yīng)的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。線性等離子清洗機(jī)適應(yīng)多種材料,能夠解決薄膜表面處理的難題,是處理薄膜等扁平且較寬材料的不錯(cuò)的設(shè)備。
半導(dǎo)體芯片作為現(xiàn)代電子設(shè)備的組成部分,其質(zhì)量和可靠性對整個(gè)電子行業(yè)至關(guān)重要。Die Bonding是將芯片裝配到基板或者框架上去,基板或框架表面是否存在有機(jī)物污染和氧化膜,芯片背面硅晶體的浸潤性等均會(huì)對粘接效果產(chǎn)生影響,傳統(tǒng)的清洗方法已經(jīng)無法滿足對芯片質(zhì)量的要求。使用微波plasma等離子清洗機(jī)處理芯片表面能有效地清潔并改善表面的浸潤性,從而提升芯片粘接的效果。微波是指頻率在300MHz-300GHz之間的電磁波,波長約1mm-1m,具有機(jī)動(dòng)性高、工作頻寬大的特性,使用微波發(fā)生器配1.25KW電源產(chǎn)生微波將微波能量饋入等離子腔室內(nèi),使微波能量在低壓環(huán)境下形成等離子體。在光伏電池制程中,等離子表面處理可用于玻璃基板表面活化,陽極表面改性,涂保護(hù)膜前處理等。貴州在線式等離子清洗機(jī)產(chǎn)品介紹
真空等離子清洗設(shè)備可以清洗各種材料的物體表面,包括金屬、塑料、陶瓷、玻璃等。吉林晟鼎等離子清洗機(jī)生產(chǎn)廠家
隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體封裝技術(shù)也在不斷創(chuàng)新和改進(jìn),以滿足高性能、小型化、高頻化、低功耗、以及低成本的要求。等離子處理技術(shù)作為一種高效、環(huán)保的解決方案,能夠滿足先進(jìn)半導(dǎo)體封裝的要求,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片DB/WB工藝、Flip Chip (FC)倒裝工藝中。芯片鍵合(DieBonding)是指將晶圓上切割下來的單個(gè)芯片固定到封裝基板上的過程。其目的在于為芯片提供一個(gè)穩(wěn)定的支撐,并確保芯片與外部電路之間的電氣和機(jī)械連接。常用的方法有樹脂粘結(jié)、共晶焊接、鉛錫合金焊接等。在點(diǎn)膠裝片前,基板上如果存在污染物,銀膠容易形成圓球狀,降低芯片粘結(jié)度。因此,在DB工藝前,需要進(jìn)行等離子處理,提高基板表面的親水性和粗糙度,有利于銀膠的平鋪及芯片粘貼,提高封裝的可靠性和耐久性。在提升點(diǎn)膠質(zhì)量的同時(shí)可以節(jié)省銀膠使用量,降低成本。吉林晟鼎等離子清洗機(jī)生產(chǎn)廠家