在微加工工藝中，主要采取硅、玻璃和高分子材料作為基底。硅作為一種半導體材料，具有良好的導電性能，作為叉指電極MEA基底時,需要在表面熱生長一層SiO2,隔離金屬層和硅基底之間的導電通路出于金屬-氧化層-硅具有光電效應，對光敏感在檢測中，光照在硅-SiO2 產生的光生電流能被金屬電極輸出到檢測電路，增加信號的噪聲幅度。在實驗中發現，此噪聲幅度可達幾十到幾百微伏，因此采用硅基底的 MEA 需要避光檢測。相比于硅，玻璃具有良好的絕緣性、透光性和耐熱性，具有成熟的加工工藝，在生物實驗中便于采用倒置顯微鏡觀察，被采用于 MEA 芯片的基底材料。為了降低成本，聚對二甲苯(Parylene)和聚酷亞胺 (Polyimide)也用來作為底材料。這些高分了材料具備良好的絕緣性，耐高溫，靈活的可塑性，顯示了良好的生物相容性，對細胞的活性沒有明顯的影響。在本實驗室的實踐過程中，也嘗試采用PCB板加工MEA芯片，然而工藝中電極精度受到限制，電極尺寸限于80um，遠遠低于微加工工藝的芯片加工精度。叉指電極主要為指狀或梳狀的面內有周期性圖案。其中，激勵電極和感應電極相互交錯排布。哈爾濱叉指電極定制

銀/氯化銀電極是常使用的參比電極之一，同時也是商用化的生物醫用電極，目前的應用于各類電化學傳感器、生物傳感器以及生物醫用電極。銀/氯化銀參比電極，雖然其具有優異的電位穩定性，但由于在保存和使用過程中需要經常更換電解液，以及不可避免的存在液接電勢影響了檢測的準確性。銀/氯化銀電極有多種制備方法，利用銀和氯化銀材料可以漿料化的特點，通過銀/氯化銀電極漿料制備研究，實現絲網印刷工藝制備銀/氯化銀漿料電極，具有設計靈活、小巧輕便、結構簡單、成本低廉、重復性好、一致性高、適宜工業化生產等優點。沈陽叉指電極生產柔性生物電極雖然具有很好的柔韌性、彈性、能與組織緊密貼合性、對組織傷害小等優點，但它的強度較低。

隨著全球糖尿病患者的增多，全球血糖儀的市場也逐漸龐大，達到了近 200 億美元，在國內的血糖儀市場中，外國企業擁有優勢，其中以強生，羅氏，雅培這幾個常見品牌為首占據了超六成的市場份額，國產品牌以三諾，硅基動感為主，近年魚躍醫療也逐步開始進入血糖市場。1968年血糖儀被發明之后，血糖儀技術逐步完善，經歷了如水洗式、擦血式血、比色法、電化學法等幾代的技術更新，并開始向可穿戴式連續血糖儀發展。如今，市面上使用的自測血糖儀大多是電化學法血糖儀，而近年來科技的進步，智能化的可穿戴式設備也逐步被普及，隨著人們養生意識的強化和對健康生活方式的追求，可穿戴式生命健康設備的需求量也在迅速提高，現在的血糖儀研究也開始向多部位血糖儀的方向發展，旨在實現對血糖變化數據的實時監測。連續血糖檢測技術能提供隨時間變化的血糖濃度曲線，并能預測血糖濃度下一時刻的變化趨勢。

心血管疾病是人類死亡的首要病因，為了有效預防，需要對患者進行實時的心電監測。心電信號能夠直接反映心臟的工作狀態，是發現及預防房顫、心率失常和心肌缺血等心臟異常活動的重要依據。心電叉指電極可以將人體內離子流轉變為可檢測的電子流信號，心電電極需要具有良好的導電性、佩戴舒適性、出色的拉伸彎曲性能，以滿足皮膚的變形通常皮膚的形變量在 30%以內）以及低皮膚電極阻抗，減少心電測試過程中的噪聲和運動偽影。采用納米纖維基心電電極作為技術路徑，通常由具有納米結構的基底材料和導電材料制得，納米纖維基心電電極主要通過靜電紡絲制備，擁有良好的心電信號采集能力。將熱塑性聚氨酯（TPU）與聚（苯乙烯-b-丁二烯-苯乙烯）（SBS）混合液靜電紡絲制成納米纖維網，然后化學鍍銀制成心電電極。微間距叉指陣列電極為基礎電極，結合酶的生物催化銀沉積反應來放大分析信號。

叉指電極制備方法包括薄膜沉積，通過化學或物理方法把厚度在微納米級別的薄膜沉積在襯底表面的微納加工方法。化學方法如化學氣相沉積、外延、熱氧化等，通常伴有副產物的產生。物理方法包括蒸鍍和濺射，是利用物理過程使被沉積材料直接沉積到襯底表面形成薄膜，不發生化學反應。本工作中薄膜沉積為電子束蒸發，是在真空條件下利用電子束進行直接加熱蒸發材料，使蒸發材料氣化并向襯底輸運，在襯底上凝結形成薄膜的方法。電子束蒸發沉積法可以制備高純薄膜同時在同一蒸發沉積裝置中可以安置多個堆塌，實現同時或分別蒸發，沉積多種不同的物質。通過電子束蒸發，任何材料都可以被蒸發，不同材料需要采用不同類型的堆塌以獲得所要達到的蒸發率。叉指電極中光刻是微納加工工藝中制備圖型化表面常用的工藝。河北石英叉指電極

柔性叉指電極傳感器可通過嵌入衣物內部、貼附在機器人或人類皮膚表面等方式感知外部環境情況。哈爾濱叉指電極定制

PET 是目前一種流行的塑料樹脂，也是商業上常用的聚酯類型。PET 也具有很多優異的化學和物理性能，比如優異的機械性能、低擴散性等。PET 作為襯底材料，具有透明度高、耐化學性好、抗沖擊性強的的特點。同時，PET 內具有低模量的合成纖維，其性能接近于其他聚合物，例如聚乙烯、尼龍和聚酯。PI 作為常用的柔性材料之一，具有優異的物理化學性能。比如熱穩定性、機械性能、高擊穿強度、絕緣性。集成在 PI 網絡上的可拉伸和可擴展結構，能夠將電子皮膚傳感功能擴展到多功能傳感，包括溫度、濕度、光和壓力等。哈爾濱叉指電極定制

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