微叉指電極是在電極兩端加小振幅正弦激勵信號以產生穿過被測物的電場來改變傳感器的阻抗，從而得到被測物濃度與阻抗信號之間的變化關系。叉指電極材料、結構仿真、結構實驗和修飾等影響傳感器的靈敏度，阻抗變化來自電極表面的受體與目標分子結合、細菌或細胞增殖、以及用做標記信號放大的活性酶引起的介質離子濃度變化等。檢測細胞數量的阻抗生物傳感器的阻抗變化主要來自于電極表面病原菌細胞的免疫結合反應產生的阻抗變化或細胞濃度不同引起的溶液介電常數變化引起的阻抗變化。生物叉指電極必須具有良好的生物相容性、質量可靠性等。哈爾濱叉指電極設計

工作電極表面產生的氧化還原，并在電壓的作用下進一步電離得到游離電子，上式為葡萄糖氧化還原反應的化學方程。葡萄糖氧化酶氧化葡萄糖產生葡萄糖酸和過氧化氫，過氧化氫的強氧化力，使氫離子不會還原成氫。電流使過氧化氫解離以獲得兩個自由電子。根據測得的電荷數，可以計算出葡萄糖濃度。實際應用中，不可避免存在微量的反應電流會流過參比電極，改變控制回路的電壓，產生錯誤的測量結果。因為這種現象的存在，必須要恒電位電路來滿足三電極穩定工作條件的這一特性。山東柔性叉指電極叉指電極可用于檢測食源致病菌，食源致病菌通常直接或間接污染食物或或飲用水。

MEMS加工技術主要包括光刻、鍍膜、刻蝕。光刻是將掩模板上的圖形通過光刻膠轉移到基底上，主要分為紫外光刻和電子束光刻兩類。紫外光刻中，通常光刻膠涂布在需要被刻蝕的加工層上，掩模板直接壓在光刻膠上，在紫外光曝光下，透光區和不透光區的光刻膠發生相反的反應，顯影后形成所需要的圖形。電子束光刻中無需光刻板，避免了光散射的缺點，能提高光刻的精度，通常在 10nm 以上，高于紫外光刻微米級的精度。鍍膜是將材料沉積在基底上，通常沉膜的方法因材料而異。在硅工藝中，硅化合物采用等離子增強化學氣相沉積(PECVD)或熱生長。金屬薄膜在 MEMS中常用作傳感電極，采用濺射或蒸發將粘附層和工作層金屬均勻一致地沉積于基底上。

叉指電極是一種可以在阻抗傳感器中作為信號轉換器的電極形式,其檢測時,首先將電極連入電化學工作站來獲得分布在其周邊的電場，由于細菌等待測物可與電極表面的抗體等目標受體發生特異性反應,引起周圍電場變化，因而可以通過電化學陽抗譜技術檢測到其表面發生的阻抗變化，從而進一是檢測出待測微生物的濃度。基于金層的叉指電極的檢測牛奶中體細胞數的阻抗生物傳感器，其不僅能夠正確區分出的不同濃度的試驗奶樣,而且還得出了其傳感器等效電路中常相位角元件阻值與其檢測的牛奶中體細胞數具有較好線性關系的結論。叉指電極導電材料的銀是所有金屬材料中導電性與導熱性較好的材料。

為保證叉指電極的良率和性能，所有工藝步驟均在超凈間內完成，采用剝離工藝進行電極制作。首先，利用熱氧化生長500 nm 二氧化硅硅片以確保襯底的絕緣性。將硅片用乙醇、超純水超聲清洗，并氮吹干燥保證表面潔凈。然后旋涂光刻膠，前烘后進行光刻，其中不同尺寸的叉指電極選用不同尺寸的掩膜版。在光刻、顯影將電極圖形轉移至二氧化硅襯底后，用氧等離子體刻蝕去除殘膠。然后電子束蒸發沉積一層 10nm/70nm 的Cr/Au，其中Cr為金電極的黏附層。依次在乙醇、超純水中進行超聲清洗，完成剝離后切片即得到叉指電極傳感器。叉指電極可用于96孔電極板的制備。Au叉指電極研發

微叉指電極因其靈敏度高、響應速度快、檢出限低、成本適中、攜帶方便等優點。哈爾濱叉指電極設計

電子元器件是構成電子信息系統的基本功能單元，是各種電子元件、器件、模塊、部件、組件的統稱，同時還涵蓋與上述電子元器件結構與性能密切相關的封裝外殼、電子功能材料等。中國微針，叉指電極，微納加工，生物芯片定制行業協會秘書長古群表示 5G 時代下微針，叉指電極，微納加工，生物芯片定制產業面臨的機遇與挑戰。認為，在當前不穩定的國際貿易關系局勢下，通過 2018—2019 年中國電子元件行業發展情況可以看到，被美國加征關稅的微針，叉指電極，微納加工，生物芯片定制產品的出口額占電子元件出口總額的比重只有 10％。汽車電子、互聯網應用產品、移動通信、智慧家庭、5G、消費電子產品等領域成為中國電子元器件市場發展的源源不斷的動力，帶動了電子元器件的市場需求，也加快電子元器件更迭換代的速度，從下游需求層面來看，電子元器件市場的發展前景極為可觀。利用物聯網、大數據、云計算、人工智能等技術推動銷售產品智能化升級。信息消費5G先行,完善信息服務基礎建設:信息消費是居民、相關部門對信息產品和服務的使用,包含產品和服務兩大類,產品包括手機、電腦、平板、智能電視和VR/AR等。哈爾濱叉指電極設計

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