高分子材料、單獨的Si3N4、SiO2/Si3N4/SiO2的復合層常作為鈍化層的可選材料。光刻膠和聚酷亞胺是光敏感的材料，能夠在紫外光曝光下形成掩模板所設計的圖形，以暴露金屬電極位點。這些材料具有較低的介電常數(低于2.7)和良好的生物相容性。相比之下，高分子材料的鈍化層厚達幾微米，容易受到化學腐蝕，清洗的時候容易碎裂，減短芯片的壽命。硅化合物采用等離子增強型化學氣相沉積(PECVD)方法沉積在已經形成電極,引線圖形的金屬層上，并采用刻蝕的方法將金屬電極位點暴露。SiO2/Si3N4都具有絕緣特性，其介電常數分別為7.5 和3.9。在金屬-氧化硅-硅的結構中SiO2不能有效地阻止離子的通過，因此較少單獨用來做鈍化層。SiO2/Si3N4/ SiO2的復合層結合了 Si02的絕緣性和Si3N4阻止離子通過的特性，是鐘化層的較好的選擇。單獨的Si3N4則簡化了加工的過程，但需加厚。在本實驗工作中，采用單獨的Si3N4鈍化層，厚度為800-1000nm，能達到良好的絕緣作用。生物電極薄膜要求具備結合力強、表面致密性好、導電能力強等特點。徐州叉指電極

無創檢測具有不侵入人體、不造成創傷的優點，目的在于不對使用者造成創傷的前提下，通過傳感器間接的檢測相關生理特征和生化參數，因此無創檢測方法也稱為間接測量。雖有現在有多種關于無創血糖檢測技術被提出并驗證，但是無創測量方法通常需要通過多參數測量的推算，建立數學模型等間接反映出血糖濃度，測量結果普遍遜色于需要侵入的有創測量精度。由于面臨不可避免的強外部干擾、個體差異較大等客觀問題，導致測量數據不穩定，準確性不高。Pt叉指電極仿真柔性叉指電極具有可彎折、可延展等特性，可以模仿皮膚。

柔性襯底電極主要采用絲網印刷工藝進行制備，再經低溫固化即得成品，用于采集生物電信號的傳感器。目前常使用的柔性基底材料主要有聚二甲基硅氧烷(PDMS)，聚對苯二甲酸乙二醇(PET)，聚亞胺(PI)，聚丙烯(PP) 或聚氨基甲酸醋(PU) 等。影響柔性襯底電極性能的因素主要有電極漿料的配比,導電聚合物的組成，電極結構的設計，低溫固化的溫度及時間等。具有設計靈活、小巧輕便、結構簡單、制備簡便，成本低廉等優點。低溫固化型銀漿一般是由片狀銀粉、球狀銀粉（含量較少，一般為控制滑移添加保障電學性能）、有機溶劑（稀釋劑）、樹脂（一般為環氧樹脂）、固化劑以及部分助劑組成。

叉指電極修飾可以提升傳感器的靈敏度，且電極本身不具備特異性檢測功能，需要對電極進行修飾敏感膜來獲得特異性檢測的功能。敏感膜是生物化學傳感器的重要組成部分。生物敏感膜是使用有生物活性的材料作為敏感膜，需要將生物活性材料固定到微電極的工作電極上,它的固定是一項關鍵技術。生物敏感膜包括酶、微生物、免疫蛋白、DNA 單鏈等。根據不同的生物功能物質，有五大類方法:物理或化學吸附法、凝膠包埋法、共價鍵固定法、交聯法以及分子自組裝固定法。其中自組裝單層膜簡稱自組裝膜，為目前研究較多，對固體表面進行修飾為有效的分子有序組裝體系。對醫用叉指電在低成本、可設計、柔性化等方面等提出更高的要求。

平面叉指電極傳感器是一種低成本、小型化，在線式且適合集成的用于無機物離子檢測的傳感器，采用浸入式檢測方式。根據阻抗特性可以將叉指電極傳感器劃分為 3種類型，第 1 種類型為電感類型，具有電感特性的傳感器通常被用作導電性和磁性材料完整性的無損檢測。第 2 種類型是電容類型，通常表現為叉指狀電極，這種傳感器的應用包括紙漿水分含量的測量，特定細菌檢測，人體皮膚表面含水量測量，化學傳感器，食品安全檢驗等。第 3 種類型是電感性和電容性結構的結合，也可被分類為可遠程操作的無源傳感器，比如用于土木工程材料、含水量的實時監測。微納加工工藝所制造的叉指電極功能層薄膜厚度在納米級。徐州陶瓷叉指電極

柔性生物電極雖然具有很好的柔韌性、彈性、能與組織緊密貼合性、對組織傷害小等優點，但它的強度較低。徐州叉指電極

工作電極表面產生的氧化還原，并在電壓的作用下進一步電離得到游離電子，上式為葡萄糖氧化還原反應的化學方程。葡萄糖氧化酶氧化葡萄糖產生葡萄糖酸和過氧化氫，過氧化氫的強氧化力，使氫離子不會還原成氫。電流使過氧化氫解離以獲得兩個自由電子。根據測得的電荷數，可以計算出葡萄糖濃度。實際應用中，不可避免存在微量的反應電流會流過參比電極，改變控制回路的電壓，產生錯誤的測量結果。因為這種現象的存在，必須要恒電位電路來滿足三電極穩定工作條件的這一特性。徐州叉指電極

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