微又指電極可用于檢測不正常細胞，不正常細胞是由正常細胞變異而來，而正常細胞具有生命周期調亡，不正常細胞則會無限增殖，還可以轉化和轉移攻擊正常細胞，這也是產生病源及難點所在。常在低頻段實驗時發現，用100um寬間距20um，500um厚的電極實驗檢測 MCF-7 細胞時精度更高。不同尺寸ITO叉指電極傳感器對腺人類肺泡基底上皮細胞細胞培養做阻抗測量。通過阻抗分析寬 60um、間距 20um 和寬40um、間距40um兩種結構的電極發現，寬60um、間距20um的電極阻抗變化更明顯，證明了電極間隙小、寬度大能夠使傳感器有更好的靈敏度。柔性叉指電極的工作原理是在外界力的作用下導致彈性介質發生變形，從而引起叉指電極的電容值發生變化。微納叉指電極設計

柔性襯底電極主要采用絲網印刷工藝進行制備，再經低溫固化即得成品，用于采集生物電信號的傳感器。目前常使用的柔性基底材料主要有聚二甲基硅氧烷(PDMS)，聚對苯二甲酸乙二醇(PET)，聚亞胺(PI)，聚丙烯(PP) 或聚氨基甲酸醋(PU) 等。影響柔性襯底電極性能的因素主要有電極漿料的配比,導電聚合物的組成，電極結構的設計，低溫固化的溫度及時間等。具有設計靈活、小巧輕便、結構簡單、制備簡便，成本低廉等優點。低溫固化型銀漿一般是由片狀銀粉、球狀銀粉（含量較少，一般為控制滑移添加保障電學性能）、有機溶劑（稀釋劑）、樹脂（一般為環氧樹脂）、固化劑以及部分助劑組成。陶瓷叉指電極研發柔性叉指電極傳感器可通過嵌入衣物內部、貼附在機器人或人類皮膚表面等方式感知外部環境情況。

柔性叉指電極穩定性好，靈敏度高，表面空間電場特性好，生物相容性好，在可穿戴領域、電子皮膚和生物測試領域應用。柔性電極因具有阻抗低、快速建立穩態信號、信噪比高等優點，常被用作與生物非均勻體系接觸的媒介和信號轉換器。柔性叉指電極可嵌入衣物、貼附皮膚等方式感知外部環境。柔性電極是指可以承受彎曲、扭轉、拉伸、折疊等形變，并且在形變狀態下依然能夠正常工作的電極材料。其特點是具有高導電性、高柔韌性、使用上的耐久性等。

電極由兩個微電極陣列組成，其中梳為多個寬度和間距為微米級的條形電極組成。與傳統電極半無限線性擴散層表面不同，微叉指電極采用微米級的結構，電極表面的球形擴散場能夠使反應物的供給速率得到很大的提升，從而很大程度提高了微叉指電極的信噪比和靈敏度。模板法、光刻法、自組裝法是微叉指電極常用的制作方法。模板法是通過改變制作材料的參數間接合成并控制結構參數:光刻法首先在絕緣基底上通過氣象沉積得到一層導電薄膜，然后在其表面均勻涂抹一層光刻膠并覆蓋上光刻模板，然后用光照和化學溶解制作出陣列電極。自組裝法利用納米粒子間的非共價鍵特性，能夠使其在電極表面自動形成規則的納米薄膜。生物叉指電極的基底材料的強度可將其分為兩大類：柔性基底電極和剛性基底電極。

叉指電極主要是基于兩電極體系(工作電極和對電極)和三電極體系(工作電極、對電極和參比電極) 兩種結構進行研發的。三電極與兩電極結構主要區別在于微電極傳感系統是否包含參比電極。兩電極體系隨著電極表面持續發生化學反應，工作電極的電位產生偏移，電極上的電流始終在變化，此時就難以控制實驗的條件，既要實現控制電壓又要測量電流就會使系統變得十分不穩定，導致傳感器的性能下降。三電極體系中，工作電極是主要的研究和操作對象，通過電極表面的固化酶氧化還原產生電流以實現工作電極的極化。參比電極用來為工作電極提供基準電壓，由 Ag/AgCl 制成，對電極使用惰性金屬鉑制成，這種兩種電極都不會被極性化，因此不會影響實驗中的電流。叉指電極導電層需采用物理方法制備，主要包括蒸鍍、磁控濺射、絲網印刷、噴墨打印。石家莊生物叉指電極

微電極具有微創、無痛或微痛、成本低、和操作簡易、可降解的特點。微納叉指電極設計

叉指電極制備方法包括薄膜沉積，通過化學或物理方法把厚度在微納米級別的薄膜沉積在襯底表面的微納加工方法。化學方法如化學氣相沉積、外延、熱氧化等，通常伴有副產物的產生。物理方法包括蒸鍍和濺射，是利用物理過程使被沉積材料直接沉積到襯底表面形成薄膜，不發生化學反應。本工作中薄膜沉積為電子束蒸發，是在真空條件下利用電子束進行直接加熱蒸發材料，使蒸發材料氣化并向襯底輸運，在襯底上凝結形成薄膜的方法。電子束蒸發沉積法可以制備高純薄膜同時在同一蒸發沉積裝置中可以安置多個堆塌，實現同時或分別蒸發，沉積多種不同的物質。通過電子束蒸發，任何材料都可以被蒸發，不同材料需要采用不同類型的堆塌以獲得所要達到的蒸發率。微納叉指電極設計

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