心血管疾病是人類死亡的首要病因，為了有效預防，需要對患者進行實時的心電監測。心電信號能夠直接反映心臟的工作狀態，是發現及預防房顫、心率失常和心肌缺血等心臟異常活動的重要依據。心電叉指電極可以將人體內離子流轉變為可檢測的電子流信號，心電電極需要具有良好的導電性、佩戴舒適性、出色的拉伸彎曲性能，以滿足皮膚的變形通常皮膚的形變量在 30%以內）以及低皮膚電極阻抗，減少心電測試過程中的噪聲和運動偽影。采用納米纖維基心電電極作為技術路徑，通常由具有納米結構的基底材料和導電材料制得，納米纖維基心電電極主要通過靜電紡絲制備，擁有良好的心電信號采集能力。將熱塑性聚氨酯（TPU）與聚（苯乙烯-b-丁二烯-苯乙烯）（SBS）混合液靜電紡絲制成納米纖維網，然后化學鍍銀制成心電電極。微叉指電極因其靈敏度高、響應速度快、檢出限低、成本適中、攜帶方便等優點。寧波血糖測試叉指電極

微又指電極可用于檢測不正常細胞，不正常細胞是由正常細胞變異而來，而正常細胞具有生命周期調亡，不正常細胞則會無限增殖，還可以轉化和轉移攻擊正常細胞，這也是產生病源及難點所在。常在低頻段實驗時發現，用100um寬間距20um，500um厚的電極實驗檢測 MCF-7 細胞時精度更高。不同尺寸ITO叉指電極傳感器對腺人類肺泡基底上皮細胞細胞培養做阻抗測量。通過阻抗分析寬 60um、間距 20um 和寬40um、間距40um兩種結構的電極發現，寬60um、間距20um的電極阻抗變化更明顯，證明了電極間隙小、寬度大能夠使傳感器有更好的靈敏度。石家莊叉指電極價格對醫用叉指電在低成本、可設計、柔性化等方面等提出更高的要求。

MEMS加工技術主要包括光刻、鍍膜、刻蝕。光刻是將掩模板上的圖形通過光刻膠轉移到基底上，主要分為紫外光刻和電子束光刻兩類。紫外光刻中，通常光刻膠涂布在需要被刻蝕的加工層上，掩模板直接壓在光刻膠上，在紫外光曝光下，透光區和不透光區的光刻膠發生相反的反應，顯影后形成所需要的圖形。電子束光刻中無需光刻板，避免了光散射的缺點，能提高光刻的精度，通常在 10nm 以上，高于紫外光刻微米級的精度。鍍膜是將材料沉積在基底上，通常沉膜的方法因材料而異。在硅工藝中，硅化合物采用等離子增強化學氣相沉積(PECVD)或熱生長。金屬薄膜在 MEMS中常用作傳感電極，采用濺射或蒸發將粘附層和工作層金屬均勻一致地沉積于基底上。

叉指電極性能的影響因素主要有兩部分，一部分是電極構成材料，主要材料有金、銀、ITO 等,金、銀電極性能較好，但是其價格較昂貴，性價比較低，而ITO電極不僅成本低，而且性能也不錯,是目前叉指電極研究較熱的材料。另一部分影響因素則是電極結構，主要有叉指數、指長、指寬比、指間距以及電極厚度等,這些參數都會給傳感器的檢測效果帶來很大影響。用電化學方法在叉指電極上沉積納米 ZnO，隨后將鏈酶親和素修飾在納米 ZnO 上，并將生物素化的球菌抗體固定到傳感器的表面。隨著微納技術的發展，致力于更小、更輕便、功耗更低的生物電極的制作。

柔性叉指電極使用過程中會發生彎曲或折疊，可使電場分布發生變化，相鄰叉指電極的電容值與彎曲或折疊角度相關。叉指電極的電容值和靈敏度隨著彎曲或折疊的角度增大而降低。柔性電極的基體有更低的硬度和楊氏模量，擁有很好的回彈性，同時根據不同的應用場景，對熱穩定性、滲透性、透光性、附著性和防水性等也有不同程度的要求。柔性電極多采用聚合物作為其柔性襯底，常見的聚合物包括聚對苯二甲酸乙二醇酯（PET）、聚酰亞胺（PI）和聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）等，但 PET、PEN、PI 等常見的高分子塑料襯底只有可彎曲性而缺乏拉伸性，考慮到開發具有優異拉伸性的彈性襯底也是非常有必要的。因此，其他材料比如聚二甲基硅氧烷（PDMS）、熱塑性聚氨酯（TPU）、脂肪族芳香族無規共聚酯（Ecoflex）和聚合物水凝膠等，都是具有低彈性模量和高可拉伸性的襯底材料。生物叉指電極必須具有良好的生物相容性、質量可靠性等。無錫叉指電極研發

叉指電極采用微電子機械系統(MEMS)工藝制備，集成結構為叉指陣列分布的工作電極和對電極。寧波血糖測試叉指電極

由于金屬層中，電極位點和細胞及其培養環境直接接觸，因此它的生物相容性，電化學特性等都是材料選擇中需要考慮的。在已有的工作中，主要有金(Au)、鉑(Pt)、銥 (Ir)、氧化錫(ITO)等稀有金屬被采用為金屬電極材料。它們具有良好的物理和化學穩定性，采用濺射或蒸發的工藝可沉積到基底[，并刻蝕出金屬層的電極、引線陣列。ITO 電極在是一種透明的半導體材料，成功檢測到了神經細胞的電生理信號并能觀察到其生長過程，但是信號信噪比較低，因此較多采用為引線的材料。相比之下，Pt 具有較高的交換電流密度；Au 具有較好的延展性；Ir則較難加工，因此Au 和Pt在叉指電極加工中采用的多。在加工時，為了增強金屬層的粘附性，需要先在基底上濺射或蒸發粘附層，通常采用 Ti，TiW，Cr 等材料。寧波血糖測試叉指電極

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