用于高靈敏免疫分析的微間距叉指陣列電極,如96孔U型板，用于酶或者細胞的批量檢測。微間距叉指陣列電極制備采用傳統的光刻顯影鍍膜方法，在清潔光刻基片（石英、陶瓷或玻璃材料）上用甩膠機上涂上一層光刻膠，然后在光刻機中將掩膜版與基片對準，紫外曝光將掩膜版上的圖形轉移到基片上，顯影去掉曝光部分的光刻膠，采用真空濺射在基片上依次噴涂30nm厚的Ti層和120nm厚的Au層，用有機溶劑氯仿除去基片上的感光膠后，可制備得到微間距叉指陣列金電極。生物叉指電極的基底材料的強度可將其分為兩大類：柔性基底電極和剛性基底電極。無錫叉指電極價格

為保證叉指電極的良率和性能，所有工藝步驟均在超凈間內完成，采用剝離工藝進行電極制作。首先，利用熱氧化生長500 nm 二氧化硅硅片以確保襯底的絕緣性。將硅片用乙醇、超純水超聲清洗，并氮吹干燥保證表面潔凈。然后旋涂光刻膠，前烘后進行光刻，其中不同尺寸的叉指電極選用不同尺寸的掩膜版。在光刻、顯影將電極圖形轉移至二氧化硅襯底后，用氧等離子體刻蝕去除殘膠。然后電子束蒸發沉積一層 10nm/70nm 的Cr/Au，其中Cr為金電極的黏附層。依次在乙醇、超純水中進行超聲清洗，完成剝離后切片即得到叉指電極傳感器。蕪湖叉指電極研發合作微叉指電極陣列是以檢測電興奮類細胞如心肌細胞、神經網絡等的電生理活動的一類細胞傳感器。

PET 是目前一種流行的塑料樹脂，也是商業上常用的聚酯類型。PET 也具有很多優異的化學和物理性能，比如優異的機械性能、低擴散性等。PET 作為襯底材料，具有透明度高、耐化學性好、抗沖擊性強的的特點。同時，PET 內具有低模量的合成纖維，其性能接近于其他聚合物，例如聚乙烯、尼龍和聚酯。PI 作為常用的柔性材料之一，具有優異的物理化學性能。比如熱穩定性、機械性能、高擊穿強度、絕緣性。集成在 PI 網絡上的可拉伸和可擴展結構，能夠將電子皮膚傳感功能擴展到多功能傳感，包括溫度、濕度、光和壓力等。

絲網印刷銀/氯化銀電極用作參比電極時，其性能一般通過電位穩定性、電位漂移率、使用壽命、水合期、保質期等來表征。此外由于銀/氯化銀電極還可用作生物醫用電極，所以當絲網印刷銀/氯化銀電極用作醫用電極時，接觸阻抗、信噪比等也可對電極性能進行表征。電位穩定性是指其電位隨時間的波動性，波動性越小穩定性越好，參比電極和醫用電極的穩定性都直接影響著測量的準確性與可靠性。電極的漂移率指的是其電勢在恒定條件下改變的速率，漂移率越低，電極性能越好。使用壽命是指銀/氯化銀電極在維持工作狀態下的有效時間。使用壽命根據應用而存在不同，所需壽命通常可以在幾分鐘到一年的范圍內。如在分析化學中所需電極是一次性的，則其使用壽命可能是幾分鐘，而對于某些需長期檢測的應用而言，其使用壽命應至少幾個月。叉指電極可用于檢測食源致病菌，食源致病菌通常直接或間接污染食物或或飲用水。

電極結構是影響傳感器性能的重要因素之一，電極的結構參數包括形狀、指寬度、間距、指長、厚度，指對數、指寬比和電極表面的狀態，即是否有功能化修飾等。電極厚度對信噪比影響明顯，但指數對其影響極小，減小電極寬度和間距可以提高信噪比。被測對象的形態和在傳感器表面的分布狀態也是設計微叉指電極結構的考慮因素，有研究發現電極間距約為細胞直徑的4倍時傳感器有較好的靈敏度，在一定范圍內增加電極的厚度、減小寬度也能提高傳感器的精度。細胞與電極的相對位置也影響測量靈敏度，這種客觀的影響因素為微流控技術在微又指電極傳感器_上的應用提供了機遇，微流控技術可以控制被測細胞在微叉指電極傳感器表面的位置分布。Si 基 Pt 薄膜生物叉指電極具有耐腐蝕性和生物相容性。湖州PI叉指電極

叉指電極將生物檢測具有的特異性與電化學技術的準確、快速等優點，制作出集成度高、攜帶方便的微型傳感器。無錫叉指電極價格

叉指電極的電極部分作為電化學檢測時的平臺和電子傳遞的通道，一般使用惰性導電材料，用金、鉑、鋁、銀、ITO、鉻、碳等。電極材料的選擇與電極的應用、檢測介質的成分和檢測環境對材料的影響以及制造工藝的可行性相關，需根據實際應用情況進行選擇。例如，ITO 導電玻璃電極因其透光性好、電阻低常被用于光電子器件，金電極能夠減少氧化產物，促進氧化還原循環常被用于污染物的檢測。目前，金仍然是電極制備的常用金屬，它突出的電學特性，可以提升微電極的導電性能，且兼具無毒，親和生物材料能夠偶聯疏基的特性使其擁有難以比擬的應用優勢。碳材料具有較寬的電位窗口而且形態多樣，有些甚至具有其他材料沒有的電學性能，因而在電極制備中是非常理想的電極材料。目前，多種新型碳基材料被用于微電極的制備，并對微電極傳感器的性能改進起到了重要作用。無錫叉指電極價格

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