利用化學溶液濕法腐蝕的微針可以降低微針的制作成本，制作過程中不需要大型的刻蝕設備，在普通實驗室就能夠完成工藝制作。但腐蝕過程比較難以精確控制，并且需要進行實時觀察，而且不確定因素還較多。溶液濕法腐蝕對硅片的晶向、腐蝕的溫度、腐蝕的時間和掩膜形狀的要求都是非常嚴格的。由于掩膜形狀和腐蝕晶向的選擇性，溶液濕法腐蝕形成的微針形狀像山峰，所以比干法刻蝕形成的微針短，直徑比較大，所以單位面積的微針數量比干法刻蝕的微針數量少。微針在使用前需要進行消毒才能使用。蘇州實心微針加工制造

很早之前就有人提出了微針電極的概念，但由于當時半導體加工領域技術的限制，還無法將其制造出來。經過了多年的摸索，其制作和封裝技術依然不夠成熟。有人研究了不同類型的微針陣列的應用場景：一種用于體表提取生理信號的干電極實心微針陣列，它不需要通過復雜的外科手術植入體內，只是將其貼在皮膚表面就可以獲得心電、腦電、肌電等生理信號。與傳統的體表電極相比，皮膚干電極使用過程非常簡單，不需要皮膚準備和涂抹導電膏。另一種是用于藥物緩釋的中空微針電極，這種電極可以通過皮膚將某種藥物按固定劑量勻速地遞送到病人的體內，從而避免了靜脈注射和打針為患者帶來的痛苦。杭州中晶微針封裝隨著新型加工材料和技術的進展,可以建立統一的微針技術標準,以提高微針技術的安全性。

糖尿病是疑難雜癥之一,它會引起血糖升高及其他代謝紊亂,從而導致各種易致人死亡的并發癥。傳統的注射方法會引起注射部位的炎癥。因此,人們將關注點放到了微針透皮給藥上。有人用聚乙烯醇和透明質酸結合研究可溶胰島素微針基質材料,分別從存儲穩定性、生物安全性以及臨床應用角度進行了一系列研究。使用PVA微針和HA微針分別對健康的小鼠做時間長達3個月和5個月的連續針扎實驗。在實驗期間,從表觀層面到細胞層面詳細考察了小鼠局部皮膚以及全身的健康狀態。結果證明,在實驗周期內,PVA微針和HA微針均未引起小鼠全身的炎癥反應或毒性反應,也未引起皮膚問題,終的結果證明PVA和HA在實驗周期內具有良好生物安全性,也可達到***的目的。

水凝膠微針是由水凝膠聚合基質制備而成,其制備方法與可溶性微針相似。通常由交聯態的水凝膠或者超溶脹聚合物制備而成,如羧甲基纖維素和支鏈淀粉等。水凝膠微針在給藥時,微針陣列在插入皮膚后會迅速吸收間質液,導致水凝膠腫脹,在凝膠內產生連續暢通的孔道,藥物通過組織液滲透和擴散進入皮膚組織內。藥物遞送完成后可以完好地從皮膚中取出,不存在針體殘留問題。此外,水凝膠微針還可以通過調節水凝膠纖維的交聯密度來控制藥物釋放速率。可溶性微針是利用模具將藥物制作成針尖。

經皮給藥的封裝較為簡單，將有微通道的硅片與傳統注射器封裝后連接在一起可以進行無痛注射。封裝方法如下所述，首先制作帶有微通道的硅模具，硅片厚度須大于500um ，利用干法各向異性刻蝕硅片在中間形成高度為300um左右的的方臺，然后用PDMS翻模，PDMS腔室的大小為5*5cm，將大小為 6*6cm的微通道硅片與PDMS膜具粘結在一起（硅針的大小必須大于PDMS腔室的大小，這樣才能在PDMS和硅針之間形成給藥腔室），就能實現帶通道微針陣列硅片的封裝。用藥物推送器連接到微腔中即可進行藥物注射。利用紫外壓印制造的固體實心微針模具會導致模具損傷。常州超高晶微針封裝

微針也可用來制作微電極。蘇州實心微針加工制造

采用各向同性和各向異性蝕刻工藝制備硅微針,但對于蝕刻工藝的控制仍是待解決的關鍵問題。Dizon使用離子研磨方法制作了實心針尖的硅微觀結構。后來 Henry 使用反應離子蝕刻方法制作了具有高縱橫比的硅固體微針陣列。Chun制備了二氧化硅微針, 其使用深度反應離子蝕刻、各向異性刻蝕以及硅玻璃鍵合三種技術,達到了精確控制生物物質注入細胞的目的。Chen利用 p+型硅的各向異性自停腐蝕技術,制成了集成微流體管和微電極的硅微針,監測了小豬在不同化學刺激下神經反應信號的變化。蘇州實心微針加工制造