微針是針尖的直徑為幾十到幾百納米, 高度在30um以上的針狀結構。微針在生物醫學領域有比較廣泛的應用。采用微針陣列給藥或者采樣, 不僅具有微量、無痛的特點, 而且可以使生化檢驗的精度、可靠性和效率大幅度提高。微針和MEMS中的微流體、微分析系統相結合, 可以實現生化檢測分析的微型化和集成化。有關微針的制備方法和應用研究的報道越來越多, 隨著近年來相關研究的進一步深入, 又有一些新型的微針制備方法被陸續開發, 尤其在應用研究方面取得了長足進步。空心微針可以分為異面中空微針和共面中空微針。無錫超高晶微針晶圓

一種新型的給藥技術是透皮給藥技術，透皮給藥技術是指在皮膚表面給藥，使藥物以接近恒定速度通過皮膚各層，經血管吸收進入體循環產生全身或局部作用的制劑，該類制劑通常稱為透皮貼劑.在原理上來講透皮給藥與皮下注射或靜脈輸入給藥是同一種投藥的方法。透皮給藥應用于治皮膚局部或全身疾病，比其他方式具有更加安全、穩定和病人適應性好的優點。其中被動透皮給藥技術是以單純的濃度梯度為驅動力使藥物擴散透過皮膚進入血流產生藥效。北京空心微針晶圓微針可與其他促滲方法聯合，聯合應用極大拓寬了經皮給藥藥物的應用范圍。

Lee 在 US.Pat.No.5250023 中公開了一種透皮藥物釋放器件，包含許多直徑在 50~400 微米，長度在 200~2000 微米的皮膚針 (skin needle)，針的材質是不銹鋼的，用于改進蛋白質或核酸的透皮釋放。Prausnitz 在 US Pat.No6503231公開了一種用MEMS技術在單晶硅材料上制作圓錐形多孔微針的方法，該器件用于改進藥物的透皮釋放效率。該方法具體是利用光刻技術在單晶硅表面形成圖案，然后利用深離子反應蝕刻技術形成圓錐形微針，但是該方法制作的微針太尖，在使用過程中有的針頭會折斷。為了更好地滿足藥物釋放對器件的要求，即產生更小的創傷或切口，以更大的效率傳遞藥物，使藥物的管理和使用更加容易，開發具有生物相容性的微針是非常有必要的。

Shibata T,Yamanaka S利用深度反應離子蝕刻的沖孔效應,制造出具有半球形頂部的中空 SiO2 微針的半球陣列,但是此方法生物相容性不好,還需要進一步驗證SiO2微針的力學性能。Hasegawa Y, Yasuda Y對單晶硅進行微加工,使其具有小曲率半徑,然 后利用各向異性濕法蝕刻制造了一種硅微針,通過該微針在金屬板上形成壓痕,成功制造出了針尖高度高、密度大的微針陣列。岳瑞峰等人采用微加工技術批量制造出高度和陣列密度分別為 140μm 和 730cm的硅基實心微針陣列,并通過體外、體內實驗研究了其對透皮給藥的影響。利用3D打印技術也可以制作微針。

微針透皮給藥不僅可以更好地處理因化學和物理滲透給人體帶來的疼痛感和創傷,而且還能提高給藥效率。空心微針就可有效實現透皮給藥,就像注射時所使用的針頭一樣搭載輸送液體藥物。和其他類型的微針相比,空心微針更加適用于高劑量藥物和生物大分子藥物的傳輸。空心微針分為單一空心微針和面積較大的微針陣列。單一空心微針與普通注射針頭相比起來沒有痛感,讓患者的接受度更高;面積較大的微針陣列是由多個微針排列所構成的,在一次給藥過程中可以覆蓋的皮膚面積更大,相較于單一空心微針而言起效更快、效率更高,因而有著較高的生物利用率。微針針對不同的應用場景有不同的材質。蘇州中晶微針加工

微針也可用來制作微電極。無錫超高晶微針晶圓

微針作為透皮給藥的新型方式,微針透皮給藥具有微創、易制備、患者易用藥優點,在病癥、自身免疫性疾病等方面能起到很好的效果。對于病癥這一方面,微針主要還是通過遞送免疫檢查點的抑制劑來進行的,利用微針可以進行局部給藥的特點,只需相對較低劑量的藥物就能夠達到預期的治效果,同時還可以降低自身免疫功能紊亂的風險。微針透皮給藥與皮下注射相比,微針在遞送不同抗原或多肽時,表現出的皮膚滯留時間更長,自身反應性細胞增殖減少,進而誘導耐受。無錫超高晶微針晶圓