12.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進行自動監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū))的送風量或回風量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風機應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應(yīng)設(shè)置無水、無風斷電保護。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風機、水泵等動力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。潔凈室要達到潔凈等級，必須有綜合措施。上海潔凈室檢測評估

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏；確認過濾系統(tǒng)下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風向注入氣溶膠，在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風管中的過濾器下風向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進行，且該項檢測是在新建潔凈室調(diào)試時，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進行。安徽醫(yī)療凈化車間潔凈室檢測目的管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口和取樣口。

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風，實際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應(yīng)減少凹凸面，2當采用踢腳時，踢腳不宜突出墻面。為了達到規(guī)定的潔凈度級別，有效地控制微粒的污染。

5.2.2人員進出、材料出入、產(chǎn)品運送及設(shè)備、工具搬運的頻繁交錯，不但會彼此干擾、易發(fā)生混雜、降低生產(chǎn)效率，并可能會使?jié)崈羰?區(qū))的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此，在工藝布局時，應(yīng)充分考慮人員、物料設(shè)備，有各自的出入口。人員入口處的凈化設(shè)施包括單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、氣閘室等，具體選用何種形式，需根據(jù)潔凈室(區(qū)）的空氣潔凈度等級、人員數(shù)量、未來發(fā)展需求等確定。物料凈化設(shè)施包括貨物吹淋室、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等，一般可根據(jù)物料種類、包裝方式和潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級等確定。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區(qū)域（單向流部分）實現(xiàn)高級別的潔凈室。江蘇生物安全柜潔凈室檢測目的

不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。上海潔凈室檢測評估

6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動化運輸和公用動力設(shè)施安裝和維修的要求。6.1.6設(shè)有技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的潔凈廠房，技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的建筑設(shè)計應(yīng)滿足各種風管和各種動力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設(shè)置技術(shù)豎井。技術(shù)豎井的形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)滿足風管、管線的安裝、檢修和防火要求。6.1.7對兼有一般生產(chǎn)區(qū)和潔凈室（區(qū))的綜合性廠房，廠房的平面布局和構(gòu)造處理，宜避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產(chǎn)環(huán)境帶來不利影響。上海潔凈室檢測評估