4.5.1有微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：1在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處，應(yīng)按微振控制要求設(shè)計。2潔凈室與周圍輔助性站房內(nèi)有強烈振動的設(shè)備及連接管道應(yīng)采取主動隔振措施。3應(yīng)測定潔凈廠房內(nèi)、外各類振源對潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響，以決定是否采取被動隔振措施。4.5.2精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動值應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門提供。當(dāng)生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門難以提供容許振動值時，可按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《隔振設(shè)計規(guī)范》GB50463的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。潔凈室檢測不僅是合規(guī)要求，更是保障產(chǎn)品質(zhì)量的重要手段。遼寧潔凈室檢測技術(shù)好

1、醫(yī)院潔凈手術(shù)部：風(fēng)速、換氣次數(shù)、靜壓差、潔凈度級別、溫濕度、噪聲、照度、細(xì)菌濃度。2、醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房：空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間、已安裝過濾器泄漏、浮游菌、沉降菌。3、電子工業(yè)潔凈廠房：空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間。4、食品工業(yè)潔凈用房：定向氣流、靜壓差、潔凈度、空氣浮游菌、空氣沉降菌、噪聲、照度、溫度、相對濕度、自凈時間、甲醛、Ⅰ級工作區(qū)截面風(fēng)速、開發(fā)的洞口風(fēng)速、新風(fēng)量。浙江實驗室檢測規(guī)范性強抽樣對有設(shè)計要求的區(qū)域進(jìn)行檢測。

D.3.2靜壓差測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室（區(qū))時，應(yīng)從**里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計數(shù)器。2應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1um(0.5um)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處，并應(yīng)以5~20mm/s速度移動。應(yīng)檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。

6.2.1潔凈室（區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。6.2.2不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。6.2.4送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動送風(fēng)機，再啟動回風(fēng)機和排風(fēng)機；關(guān)閉時聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。6.2.5非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。采用非接觸式檢測技術(shù)，減少對潔凈室的潛在污染。

4.3.2人員凈化用室和生活用室的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)設(shè)置存放雨具、換鞋、存外衣、更換潔凈工作服等人員凈化用室。2廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和干燥間等可根據(jù)需要設(shè)置。4.3.3人員凈化用室和生活用室的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：1人員凈化用室的入口處應(yīng)設(shè)凈鞋措施。2存外衣、更換潔凈工作服的房間應(yīng)分別設(shè)置。3外衣存衣柜應(yīng)按設(shè)計人數(shù)每人設(shè)一柜，潔凈工作服宜集中掛人帶有空氣吹淋的潔凈柜內(nèi)。4盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)施。5空氣吹淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處，并與潔凈工作服更衣室相鄰。單人空氣吹淋室按比較大班人數(shù)每30人設(shè)一臺。潔凈區(qū)工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門。6嚴(yán)于5級的垂直單向流潔凈室宜設(shè)氣閘室。7潔凈區(qū)內(nèi)不得設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。潔凈室(區(qū))的日常運行和維護(hù)管理是保障其受控狀態(tài)持續(xù)的重要條件。遼寧潔凈室檢測技術(shù)好

空氣潔凈度是潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度，通常空氣中含塵濃度高則空氣潔凈度低。遼寧潔凈室檢測技術(shù)好

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響遼寧潔凈室檢測技術(shù)好