氦質譜檢漏儀特點:1.檢測時間和周期非常短,可以達到5s以內;2.檢測的介質比較常用,只需壓縮空氣即可;3.不會受到主觀因素判斷的影響;4.檢測的數據精確;5.自動生成數據保存,可追溯數據來源。氫質譜檢漏儀能為不同的應用提供不同的測試方法,含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面,以及可選功能組件。氨質譜檢漏儀在許多領域里得到普遍的應用,例如,在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。氦質譜檢漏儀在運行過程中不能移動。溫州自動氦質譜檢漏儀哪個牌子好
氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因:1、半導體設備要求高真空,比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間,耗時耗力;2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染,對半導體的特性改變并破壞其性能,因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏;3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經過氦質譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物,保障工作人員安全和大氣環境。4、芯片封裝,一旦出現泄漏,芯片就會失效。綜上所述,氦檢儀在半導體行業起著至關重要的作用。便攜式氦質譜檢漏儀品牌推薦氦檢儀可靠的品質保證普遍的市場應用。
氦質譜檢漏儀的日常維護:1.定期檢查機械泵的油位,如不足足應及時添加;如果機械泵的油是棕色、褐色或聞起來有糊狀的味道,這意味著油已經惡化了。此時,應釋放泵中的油,必要時,先用新油沖洗,然后注入新油。2.定期清洗或更換機械泵的排氣管。如果排氣管中有大量油滴,可以從氦質譜泄漏檢測器中取出,然后清洗,然后用熱風吹干或自然晾干。使用氦質譜檢漏儀常用的方法大體可分為三種,即噴氦法(負壓法),正壓法,氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言,噴氦法的靈敏度高些。但是當檢漏儀安裝在大型的、比較復雜的壓力容器裝置上時,也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。
如何正確選擇氦檢儀?(1)儀器的功能是否能滿足檢漏的要求,如有些儀器沒有逆流檢漏功能,就不合適正壓法檢漏:有些儀器沒有報廢漏率的設置功能,就不宜作為批量產品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度,因此應選擇有雙工位的氦檢儀。(2)儀器的靈敏度是否能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的,如果檢漏要求的靈敏度較高,就要認真選擇。(3)被檢件如果害怕油的污染,被應選擇無油真空系統的氦檢儀。(4)被檢件容積如果較大,必須選用預抽泵抽速答的氦檢儀,否則要另配預抽泵就比較麻煩。(5)如果被檢對象不固定,體積時大時小,靈敏度要求時高時低,就要選擇功能較全,靈敏度較高,檢漏范圍寬的氦檢儀。(6)如果檢漏地點不固定,需要經常搬運儀器時,就要選擇小型便攜式儀器。(7)在滿足檢漏基本要求的基礎上,還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否建議、維修是夠方便等方面的問題。氦質譜檢漏儀應用領域:學校科研單位、真空制造、真空鍍膜、航空航天等。
氦質譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理:一、機械維護,檢查泵的油量,如果低于低標線,則加入泵油;如果變黑或渾濁,則更換泵。使用方法見機械泵說明書。二、清洗,泄漏探測器沒有氦進入,但有一定的泄漏率指示,長期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣,在檢漏時又被釋放,造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進入氦質譜檢漏儀,在氦質譜檢漏儀下方設置過濾器,將其拆下,用酒精浸泡清洗。檢查泄漏,用棉布擦拭波紋管。三、以下是常見的故障現象、原因及解決方法。斷電:1.電源線連接不當;2、保險管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規格的保險管。氦檢儀作為一種磁偏轉型質譜分析儀器,結構上分單級磁偏轉型和雙級串聯偏轉性。南京氦質譜檢漏儀價格
掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術,有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。溫州自動氦質譜檢漏儀哪個牌子好
選擇氦質譜檢漏儀檢漏方法的原則:1、主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據,由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現。為找到一個單個漏孔,所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數量級。如一個設備的允許漏率為10-11w,而必須選用的氦質譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據具體被檢對象,所用方法簡便易行,經濟實用。為保證測試漏率真實有效:(1)標準漏孔每年送有專業資質計量單位計量;(2)使用兩年以上建議更換標準漏孔。溫州自動氦質譜檢漏儀哪個牌子好