在上述硅烷系偶聯劑的含量處于上述含量范圍內的情況下,能夠調節添加劑本身凝膠化,且獲得合適的sio2防蝕和sin蝕刻性能。(c)水本發明的蝕刻液組合物中所包含的上述水可以為用于半導體工序的去離子水,推薦使用18mω/㎝以上的上述去離子水。上述水的含量可以為使包含本發明的必須成分以及除此以外的其他成分的組合物總重量成為100重量%的余量。推薦可以按照本發明的組合物總重量的2~45重量%來包含。<選擇添加劑的方法、由此選擇的添加劑及利用其的蝕刻方法>此外,本發明提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*對上述氮化物膜選擇性蝕刻的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的...
也不能在回收結束后對裝置內部進行清理的問題。為實現上述目的,本發明提供如下技術方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體,所述裝置主體內部中間位置固定安裝有分隔板,所述分隔板左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板,所述承載板上端表面放置有電解池,所述電解池內部中間位置設置有隔膜,所述裝置主體上端表面靠近右側安裝有進液漏斗,所述進液漏斗上設置有過濾網,所述裝置主體內部靠近頂端設置有進液管,所述進液管左端連接有伸縮管,所述伸縮管下端安裝有噴頭,所述裝置主體上端表面靠近左側固定安裝有液壓缸,所述液壓缸下端安裝有伸縮桿,所述伸縮桿下端固定安裝有圓環塊,所述圓環塊與噴頭之間固定連接有連接桿,...
蝕刻液也可含有α-羥基羧酸和/或其鹽。α-羥基羧酸及其鹽具有作為鈦的絡合劑的效果,可抑制蝕刻液中產生鈦的沉淀。作為所述α-羥基羧酸,例如可舉出酒石酸、蘋果酸、檸檬酸、乳酸及甘油酸等。α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度并無特別限制,從絡合效果及溶解性的觀點來看,推薦為%至5重量%,更推薦為%至2重量%。另外,蝕刻液也可含有亞硫酸及/或其鹽。亞硫酸及其鹽具有作為還原劑的效果,可提高鈦的蝕刻速度。亞硫酸和/或其鹽的濃度并無特別限制,從還原性及臭氣的觀點來看,推薦為%至%,更推薦為%至%。蝕刻液中除了上述的成分以外,也能以不妨礙本發明效果的程度添加其他成分。作為其他成分,例如可舉出表面活性劑、成分穩...
鋁蝕刻液是鋁蝕刻液STM-AL100。根據查詢相關信息顯示:鋁蝕刻液STM-AL100是一款專為蝕刻鋁目的去設計的化學品,STM-AL100的組成有主要蝕刻化學品,添加劑,輔助化學品,對于控制蝕刻均勻以及穩定的蝕刻速率一定的效果,在長效性的表現上更是無話可說.在化學特性上,鋁金屬容易受到酸性以及堿性的化學品攻擊,本化學品設計上為酸性配方且完全可被水溶解,故無須再花額外的成本在廢水處理上.用在生產的用途可以調整藥液溫度來調整蝕刻速率,所以本化學品對于初次使用者來說,是簡單容易上手。蝕刻液的技術指標哪家比較好?綿陽銅鈦蝕刻液蝕刻液費用 所述有機硫化合物具有作為還原劑及絡合劑(chelate)...
也很難保證拖車在地磅頂部不移動。在地磅的頂部平臺中設置有兩條卡塊40,卡塊與平臺之間形成一插槽,在地磅的頂部設置有包括氣缸50和壓緊塊60的氣動夾緊機構,壓緊塊位于插槽中,氣缸的伸縮桿與壓緊塊固連。拖車的邊緣沿插槽插入后,氣缸帶動壓緊塊下行將拖車緊緊壓在地磅的頂部。實施例二本實施例基于實施例一。如圖2所示,在拖車的頂部設置有一圈圍設在儲存罐外部的護欄70,以防止其它物品碰撞儲存罐。實施例三本實施例基于實施例一。如圖3所示,在拖車的頂部設置有一集液盒,儲存罐安裝在集液盒80中,過濾器的出液管及灌裝頭的快速接頭從儲存罐中拔出時滴落的鋁蝕刻液,由集液盒進行收集。實施例四本實施例基于實施例一。...
伸縮桿12下端固定安裝有圓環塊13,圓環塊13與噴頭10之間固定連接有連接桿14,分隔板2與承載板3相互垂直設置,電解池4內部底端的傾斜角度設計為5°,進液管8的形狀設計為l型,且進液管8貫穿分隔板2設置在進液漏斗6與伸縮管9之間,圓環塊13通過伸縮桿12活動安裝在噴頭10上方,且噴頭10通過伸縮管9活動安裝在電解池4上方,通過設置有伸縮管9與伸縮桿12,能夠在蝕刻液通過進液管8流入到電解池4中時,啟動液壓缸11帶動伸縮桿12向上移動,從而通過圓環塊13配合伸縮管9帶動噴頭10向上移動,進而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中,避免蝕刻液對電解池4造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護...
為本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,以及其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,在本實用新型其二較佳實施例中,開設于該第二擋板12上的宣泄孔121亦呈千鳥排列的直通孔態樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離,例如:圖4中所示的w1,其中w1大于圖3的w或圖5的w2,其中w2大于w,而該宣泄孔121的一孔徑a0亦小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內產生毛細現象,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現時,則該水滴不至于經由該宣泄孔121落至下表面,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外,請參閱圖6與圖7所示...
技術實現要素:本實用新型的目的在于提供高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,以解決上述背景技術中提出密封性差,連接安裝步驟繁瑣的問題。為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,包括裝置主體、支撐腿、電源線和單片機,所述裝置主體的底端固定連接有支撐腿,所述裝置主體的后面一側底部固定連接有電源線,所述裝置主體的一側中間部位固定連接有控制器,所述裝置主體的內部底端一側固定連接有單片機,所述裝置主體的頂部一端固定連接有去離子水儲罐,所述裝置主體的頂部一側固定連接有磷酸儲罐,所述磷酸儲罐的底部固定連接有攪拌倉,所述攪拌倉的內部頂部固定連接有攪拌電機,所述攪...
鋁蝕刻液是鋁蝕刻液STM-AL100。根據查詢相關信息顯示:鋁蝕刻液STM-AL100是一款專為蝕刻鋁目的去設計的化學品,STM-AL100的組成有主要蝕刻化學品,添加劑,輔助化學品,對于控制蝕刻均勻以及穩定的蝕刻速率一定的效果,在長效性的表現上更是無話可說.在化學特性上,鋁金屬容易受到酸性以及堿性的化學品攻擊,本化學品設計上為酸性配方且完全可被水溶解,故無須再花額外的成本在廢水處理上.用在生產的用途可以調整藥液溫度來調整蝕刻速率,所以本化學品對于初次使用者來說,是簡單容易上手。如何挑選一款適合公司的蝕刻液?廣州哪家蝕刻液蝕刻液聯系方式 并利用水滴的表面張力現象防止水滴由該復數個宣泄孔1...
本發明涉及銅蝕刻液技術領域,具體涉及一種酸性銅蝕刻液的生產工藝。背景技術:高精細芯片和顯示集成電路主要采用銅制程,其光刻工藝中形成銅膜層結構所需用的銅刻蝕液中主要的為過氧化氫系銅刻蝕液。過氧化氫系銅蝕刻液較其他銅刻蝕液體系(如三氯化鐵體系,過硫酸銨體系)具有不引人其他金屬離子在銅層表面或線路體系中,產物親和、友好、環境污染少,刻蝕效率高且使用壽命較長的特點。大部分過氧化氫系銅刻蝕液包括參與氧化的過氧化氫組分、參與溶解的無機酸/有機酸組分,以及部分銅緩蝕劑等各類添加三個部分。由于銅蝕刻液中各物質的反應為放熱反應,體系中又含有過氧化氫在制備銅蝕刻液的生產過程中需要保證生產安全。技術實現要素...
ITO蝕刻液的分類:已經使用的蝕刻液類型有六種類型:酸性氯化銅、堿性氯化銅、氯化鐵、過硫酸銨、硫酸/鉻酸、硫酸/雙氧水蝕刻液。酸性氯化銅,工藝體系,根據添加不同的氧化劑又可細分為氯化銅+空氣體系、氯化銅+氯酸鈉體系、氯化銅+雙氧水體系三種蝕刻工藝,在生產過程中通過補加鹽酸+空氣、鹽酸加氯酸鈉、鹽酸+雙氧水和少量的添加劑來實現線路板板的連續蝕刻生產。ITO蝕刻液由氟化銨、草酸、硫酸鈉、氫氟酸、硫酸、硫酸銨、甘油、水組成。江蘇TIO去膜液生產商ITO顯影劑就是一種納米導光性能的材料合成的。蘇州BOE蝕刻液的生產廠商。無錫哪家蝕刻液蝕刻液商家 且過濾部件能將內部的過濾板進行拆卸更換,有效的提高...
本實用新型涉及資源回收再利用領域,特別是涉及含銅蝕刻液氣液分離裝置。背景技術:線路板生產工業中,會對已經使用于蝕刻線路板的含銅蝕刻廢液進行回收利用,在回收過程中,廢液在加熱器中通過蒸汽進行換熱,換熱完的廢液在高溫狀態下進入分離器,會在分離器中發生閃蒸,閃蒸產生的二次蒸汽中,攜帶有大小不等的液滴,現有技術因缺乏有效的分離氣液的手段,含有銅的液體隨著蒸汽被排走,導致了產品發生損失。技術實現要素:基于此,有必要針對現有技術氣液分離率低的問題,提供一種含銅蝕刻液氣液分離裝置。一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器,所述分離器設有液體入口、蒸汽出口及濾液出口,所述液體入口用于將加熱器產生...
操作人員的手會與連接構件11接觸,海綿層12可以將操作人員手上的水分進行吸收,避免連接構件11的兩側與操作人員的手接觸的時候,會因操作人員的手沾濕出現手滑的情況,有效的保證了裝置內部構件的連接工作能正常的進行;然后,通過連接構件11將裝置主體1內部構件進行連接,連接構件11設置有十四個,連接構件11設置在攪拌倉23的底部,連接構件11與攪拌倉23固定連接,連接構件11能將裝置主體1內部的兩個構件進行連接并固定,且在將兩構件進行連接或拆卸的時候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,在將兩構件的連接管放在連接構件11的兩端,再通過連接管與連接構件11內側兩端的螺紋管27進行連接,通過...
圖7:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結構運作局部放大圖。圖8:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖9:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖10:本實用新型蝕刻設備其二較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖11:本實用新型蝕刻設備其三較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖12:本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖13:本實用新型蝕刻方法的步驟流程圖。圖號說明:傳統擋液板結構a擋液板結構b風刀c氣體本實用新型1蝕刻設備10擋液板結構11***擋板12第二擋板121宣泄孔1211**...
當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板20上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結構10后部分會往該復數個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出,除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現象,亦可達到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;此外,為了避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,因此,該復數個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細現象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內的夾角θ等于該水滴與...
且過濾部件能將內部的過濾板進行拆卸更換,有效的提高了裝置連接安裝的便利性。2.高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,連接構件,連接構件設置在攪拌倉的底部,連接構件與攪拌倉固定連接,連接構件能將裝置主體內部的兩個構件進行連接并固定,且在將兩構件進行連接或拆卸的時候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,有效的提高了裝置連接的實用性。附圖說明圖1為本實用新型的整體結構示意圖;圖2為本實用新型的過濾部件剖視圖;圖3為本實用新型的連接構件剖視圖;圖4為本實用新型的內部構件連接框架圖。圖中:1、裝置主體,2、支撐腿,3、電源線,4、單片機,5、控制器,6、防滑紋,7、密封閥門(z45x-16...
ITO蝕刻液的分類:已經使用的蝕刻液類型有六種類型:酸性氯化銅、堿性氯化銅、氯化鐵、過硫酸銨、硫酸/鉻酸、硫酸/雙氧水蝕刻液。酸性氯化銅,工藝體系,根據添加不同的氧化劑又可細分為氯化銅+空氣體系、氯化銅+氯酸鈉體系、氯化銅+雙氧水體系三種蝕刻工藝,在生產過程中通過補加鹽酸+空氣、鹽酸加氯酸鈉、鹽酸+雙氧水和少量的添加劑來實現線路板板的連續蝕刻生產。ITO蝕刻液由氟化銨、草酸、硫酸鈉、氫氟酸、硫酸、硫酸銨、甘油、水組成。江蘇TIO去膜液生產商ITO顯影劑就是一種納米導光性能的材料合成的。如何正確使用蝕刻液。深圳哪家蝕刻液蝕刻液訂做價格 避免連接構件11的兩側與操作人員的手接觸的時候,會因操...
以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風刀裝置40的該***風刀41下端部的方向移動。該風刀裝置40設置于該擋液板結構10的一端部,該風刀裝置40包括有一設置于該基板20上方的***風刀41,以及一設置于該基板20下方的第二風刀42,其中該***風刀41與該第二風刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的一藥液51帶往與相反于該基板20的行進方向,以使該基板20上該藥液51減少,其中該氣體43遠離該***風刀41與該第二風刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。此外,請一并參閱圖8與圖9所示,為本實用新型蝕...
所述硫醚系化合物推薦為選自由甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所組成的群組中的至少一種。本發明的蝕刻液推薦進一步含有α-羥基羧酸和/或其鹽。所述α-羥基羧酸推薦為選自由酒石酸、蘋果酸、檸檬酸、乳酸及甘油酸所組成的群組中的至少一種。推薦為,所述酸的濃度為20重量%至70重量%,所述有機硫化合物的濃度為%至10重量%。另外,所述α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度推薦為%至5重量%。另外,本發明涉及一種使用所述蝕刻液在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻方法。發明的效果本發明的蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦。另外,本發明的蝕刻液實質上不含氫氟酸及過氧化氫,因此毒性低,保存穩定性優異。具體實施方式...
也不能在回收結束后對裝置內部進行清理的問題。為實現上述目的,本發明提供如下技術方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體,所述裝置主體內部中間位置固定安裝有分隔板,所述分隔板左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板,所述承載板上端表面放置有電解池,所述電解池內部中間位置設置有隔膜,所述裝置主體上端表面靠近右側安裝有進液漏斗,所述進液漏斗上設置有過濾網,所述裝置主體內部靠近頂端設置有進液管,所述進液管左端連接有伸縮管,所述伸縮管下端安裝有噴頭,所述裝置主體上端表面靠近左側固定安裝有液壓缸,所述液壓缸下端安裝有伸縮桿,所述伸縮桿下端固定安裝有圓環塊,所述圓環塊與噴頭之間固定連接有連接桿,...
操作人員的手會與連接構件11接觸,海綿層12可以將操作人員手上的水分進行吸收,避免連接構件11的兩側與操作人員的手接觸的時候,會因操作人員的手沾濕出現手滑的情況,有效的保證了裝置內部構件的連接工作能正常的進行;然后,通過連接構件11將裝置主體1內部構件進行連接,連接構件11設置有十四個,連接構件11設置在攪拌倉23的底部,連接構件11與攪拌倉23固定連接,連接構件11能將裝置主體1內部的兩個構件進行連接并固定,且在將兩構件進行連接或拆卸的時候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,在將兩構件的連接管放在連接構件11的兩端,再通過連接管與連接構件11內側兩端的螺紋管27進行連接,通過...
鋁板面蝕刻用:酸、堿都行。(鋁板是兩性材料,既能與酸反應,又能與堿反應,所以腐蝕液有的用堿性材料腐蝕,有的用酸性材料腐蝕,一般情況下,以酸性材料腐蝕的為多,堿性材料可以洗白。下好料的鋁板用棗木碳研磨,去掉油膩、劃痕,磨出啞光表面。然后用絲網版印上紋樣,油墨型號為80-39、80-59、80-49等。這種耐腐蝕油墨細膩,印出的紋樣質量高。印完紋樣后放進電爐內烘干,然后用即時貼封住后面,用膠帶封邊,進入腐蝕工藝。鋁板的腐蝕液配方如下:三氯化鐵50%硫酸銅50%水適量,波美度15~20°之間,鋁板腐蝕時應平放,在腐蝕的過程中紋樣上溢出赭紅色的滓渣,應隨時用毛刷去掉,鋁面上冒出大量泡泡,滓渣隨泡泡浮起...
ITO顯影劑也稱為造影劑或對比劑,是一種X光無法穿透的藥劑,用于讓體內組織在X光檢查時能看得更清楚。例如消化道攝影時,醫師會讓患者喝下一杯顯影劑溶液(大多含鋇),然后用各種角度照相,就能讓胃腸道看得很清楚。如果顯影只是在光強較大的地方產生游離銀,而對底片不做進一步處理,則把它一拿出暗室,未顯影的鹵化銀就會立刻曝光。此后,幾乎任何還原劑都將使底片完全形成灰霧。為了克服這個問題,必須找到一種適當的物質以除去未還原的鹵化銀。黑白照相中較常用的定影液是硫代硫酸鈉溶液。其中的硫代硫酸根離子(S2O32-)與銀離子形成可溶于水的穩定配合物,因而達到“固定”底片的目的。ITO顯影液的市場需求會隨著電子行業的...
ITO蝕刻液的分類:已經使用的蝕刻液類型有六種類型:酸性氯化銅、堿性氯化銅、氯化鐵、過硫酸銨、硫酸/鉻酸、硫酸/雙氧水蝕刻液。酸性氯化銅,工藝體系,根據添加不同的氧化劑又可細分為氯化銅+空氣體系、氯化銅+氯酸鈉體系、氯化銅+雙氧水體系三種蝕刻工藝,在生產過程中通過補加鹽酸+空氣、鹽酸加氯酸鈉、鹽酸+雙氧水和少量的添加劑來實現線路板板的連續蝕刻生產。ITO蝕刻液由氟化銨、草酸、硫酸鈉、氫氟酸、硫酸、硫酸銨、甘油、水組成。江蘇TIO去膜液生產商ITO顯影劑就是一種納米導光性能的材料合成的。銅蝕刻液的配方是什么?綿陽江化微的蝕刻液蝕刻液銷售價格 蝕刻液也可含有α-羥基羧酸和/或其鹽。α-羥基羧...
所述硫醚系化合物推薦為選自由甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所組成的群組中的至少一種。本發明的蝕刻液推薦進一步含有α-羥基羧酸和/或其鹽。所述α-羥基羧酸推薦為選自由酒石酸、蘋果酸、檸檬酸、乳酸及甘油酸所組成的群組中的至少一種。推薦為,所述酸的濃度為20重量%至70重量%,所述有機硫化合物的濃度為%至10重量%。另外,所述α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度推薦為%至5重量%。另外,本發明涉及一種使用所述蝕刻液在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻方法。發明的效果本發明的蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦。另外,本發明的蝕刻液實質上不含氫氟酸及過氧化氫,因此毒性低,保存穩定性優異。具體實施方式...
將蝕刻液通過回流管抽入到一號排液管中,并由進液管導入到伸縮管中,直至蝕刻液由噴頭重新噴到電解池中,可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉化為金屬銅,起到循環電解蝕刻液的作用;該回收處理裝置通過設置有伸縮管與伸縮桿,能夠在蝕刻液通過進液管流入到電解池中時,啟動液壓缸帶動伸縮桿向上移動,從而通過圓環塊配合伸縮管帶動噴頭向上移動,進而將蝕刻液緩慢的由噴頭噴入到電解池中,避免蝕刻液對電解池造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護電解池的功能;該回收處理裝置通過設置有集氣箱與蓄水箱,能夠在電解蝕刻液結束后,啟動抽氣泵,將電解池中產生的有害氣體抽入到排氣管并導入到集氣箱中,實現有害氣體的清理,接著啟動增壓...
在上述硅烷系偶聯劑的含量處于上述含量范圍內的情況下,能夠調節添加劑本身凝膠化,且獲得合適的sio2防蝕和sin蝕刻性能。(c)水本發明的蝕刻液組合物中所包含的上述水可以為用于半導體工序的去離子水,推薦使用18mω/㎝以上的上述去離子水。上述水的含量可以為使包含本發明的必須成分以及除此以外的其他成分的組合物總重量成為100重量%的余量。推薦可以按照本發明的組合物總重量的2~45重量%來包含。<選擇添加劑的方法、由此選擇的添加劑及利用其的蝕刻方法>此外,本發明提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*對上述氮化物膜選擇性蝕刻的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的...
伸縮桿12下端固定安裝有圓環塊13,圓環塊13與噴頭10之間固定連接有連接桿14,分隔板2與承載板3相互垂直設置,電解池4內部底端的傾斜角度設計為5°,進液管8的形狀設計為l型,且進液管8貫穿分隔板2設置在進液漏斗6與伸縮管9之間,圓環塊13通過伸縮桿12活動安裝在噴頭10上方,且噴頭10通過伸縮管9活動安裝在電解池4上方,通過設置有伸縮管9與伸縮桿12,能夠在蝕刻液通過進液管8流入到電解池4中時,啟動液壓缸11帶動伸縮桿12向上移動,從而通過圓環塊13配合伸縮管9帶動噴頭10向上移動,進而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中,避免蝕刻液對電解池4造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護...
本發明涉及回收處理技術領域,具體為一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置。背景技術:廢銅蝕刻液含有可回收的金屬,所以需要進行回收處理,目前通用的做法是,使用化學方法回收廢液內的銅,或提煉成硫酸銅產品,工藝落后,銅回收不徹底,處理的經濟效益不明顯,有二次污染污染物排放,一旦處理不當往外排放,勢必對水體生態系統造成大的沖擊。市場上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡單的對蝕刻液進行回收處理,不能對蝕刻液進行循環電解,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉化不充分,而且蝕刻液導入到電解池中會對電解池造成沖擊,進而影響電解池的使用壽命,并且在回收處理中會產生有害氣體而影響空氣環境,也不能在回收結束后對裝置內部進行清理,...
并利用水滴的表面張力現象防止水滴由該復數個宣泄孔121落下造成該基板20的蝕刻不均等異常現象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板而導致該基板20刮傷或破片風險等主要優勢。該蝕刻設備1可進一步設置有一噴灑裝置50,該噴灑裝置50設置于該擋液板結構10的一端部,且該基板20設置于該擋液板結構10的下方約8毫米至15毫米之間,其中該噴灑裝置50用以噴灑一藥液51至該基板20上,以對該基板20進行一濕式蝕刻制程;由上述的說明,擋液板結構10的設置即是為了避免噴灑裝置50的藥液51繼續對已經完成蝕刻步驟的基板20再進行蝕刻制程,故仍舊會有少量的藥液51噴灑...