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固定殼5內壁的底部開設有與滑塊配合使用的滑槽。采用上述方案：通過設置滑塊和滑槽，提高了活動板702前后移動的平穩性，同時有效的減少了...

三、合成上的多種途徑：聚酰亞胺品種繁多、形式多樣，在合成上具有多種途徑，因此可以根據各種應用目的進行選擇，這種合成上的易變通性也是其...

可**簡化加工工序。10、在微電子器件中的應用：用作介電層進行層間絕緣，作為緩沖層可以減少應力、提高成品率。作為保護層可以減少環境對...

本實用新型涉及半導體設備領域，具體地，涉及一種半導體設備中的工藝盤組件，以及一種包括該工藝盤組件的半導體設備。背景技術：半導體設備通...