用途介紹：無氧干燥箱應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化，模壓固烤、IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。1、技術(shù)指標與基本配置：1.1使用溫度：RT～260℃，極限溫度：300℃；1.2爐膛腔數(shù):2個,上下布置；1.3爐膛材料：SUS304鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器；熱偶：K分度1.4溫度和氧含量記錄:無紙記錄儀；2、氧含量（配氧分析儀）：2.1高溫狀態(tài)氧含量：≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量：≤20ppm+氣源氧含量2.2控溫穩(wěn)定度：1℃；2.3溫度均勻度：2%℃（260℃平臺）；工業(yè)烤箱給社會帶來了什么好處？杭州工業(yè)烤箱標準

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。福州生產(chǎn)工業(yè)烤箱合肥真萍告訴您工業(yè)烤箱的應(yīng)用范圍。

真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜主要應(yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞，解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線，解決液晶的受潮問題，解決線路板受潮問題。下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜。一、氮氣監(jiān)控系統(tǒng)：1.1、2.3”LED大屏幕數(shù)字顯示濕度/溫度。1.2、溫濕度顯示值0.1％-99.9％RH，溫度顯示值0.1℃-60.0℃。1.3、溫濕度收集采準確傳感器，長距離傳輸無誤差。1.4、濕度控制：2.4.1利用濕度設(shè)定值來控制氮氣流入，到達濕度設(shè)定值即停止進氣，節(jié)省氮氣耗用。2.4.2濕度在1％-60％RH可調(diào)整。1.5、溫濕度記錄功能：2.5.1內(nèi)建內(nèi)存，可儲存溫度/濕度，收集時間1~240分鐘可自行設(shè)定。2.5.2可利用RS232連接阜下載至計算機中讀取。2.5.3品管記錄格式設(shè)計，有助于內(nèi)部記錄追蹤并可支持數(shù)據(jù)庫檔案格式。1.6、濕度警報系統(tǒng)：1.6.1可設(shè)定啟動警報的濕度值及條件，內(nèi)配蜂鳴器（90分貝）及閃爍警示功能。1.6.2可另外選配積層式警示燈。1.7、溫濕度偏移校正功能：內(nèi)建校正功能，確保顯示準確度。

通過數(shù)顯儀表與溫感器的連接來控制溫度,采用熱風循環(huán)送風方式，熱風循環(huán)系統(tǒng)分為水平式和垂直式。均經(jīng)精確計算，風源是由送風馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)由電熱器，將熱風送至風道后進入烘箱工作室，且將使用后的空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱運用，如此可有效提高溫度均勻性。如箱門使用中被開關(guān)，可借此送風循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復(fù)操作狀態(tài)溫度值。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)系統(tǒng)由送風馬達、風輪和電熱器組成，送風馬達帶動風輪送出冷風，冷風經(jīng)過電熱設(shè)備加熱攜帶熱能后經(jīng)風道進入工業(yè)烤箱的烘箱工作室。工業(yè)烤箱怎樣使用？合肥真萍告訴您。

真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計特點1、后門設(shè)計熱風電機2、降溫時風機開啟，同時兩端降溫封頭開啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換，達到快速降溫的目的三、技術(shù)指標1、使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；4、加熱元件：石墨加熱棒；5、冷卻方式：氣冷+循環(huán)風冷降溫；6、控溫穩(wěn)定度：2℃，具有PID參數(shù)自整定功能；7、爐膛溫度均勻度：5℃（恒溫1500℃）；8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%；9、極限真空:10-3torr級；10、抽氣速率：空載下，30min達到10-2torr11、升溫功率：170kW；12、升溫速率：15℃/min（空載）；13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸：1000*1000*1000mm（寬*深*高）工業(yè)烤箱對如今市場的影響。杭州工業(yè)烤箱標準

工業(yè)烤箱的作用是什么？合肥真萍告訴您。杭州工業(yè)烤箱標準

工業(yè)烤箱在工作時，操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業(yè)烤箱內(nèi)部的溫度值，在通過控制系統(tǒng)進行操作。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)加熱方式，與普通的散熱加熱方式相比，有著更好的氣體流動性，能加快工業(yè)烤箱內(nèi)物料的干燥速度。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)系統(tǒng)由送風馬達、風輪和電熱器組成，送風馬達帶動風輪送出冷風，冷風經(jīng)過電熱設(shè)備加熱攜帶熱能后經(jīng)風道進入工業(yè)烤箱的烘箱工作室。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)系統(tǒng)有利于提高空氣溫度的均勻性，在工業(yè)烤箱開關(guān)箱門運送物料的過程中，溫度值會受到影響發(fā)生變動，熱風循環(huán)系統(tǒng)的均勻性則有利于在比較大快速度內(nèi)恢復(fù)工作狀態(tài)的溫度值。杭州工業(yè)烤箱標準

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