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來源: 發布時間:2021-10-14

其中主要的因素就是材料的折射率溫度系數、基板的線性熱膨脹系數、材料的泊松比、膜系的線性熱膨脹系數、膜層的聚集密度等。關于各種材料的折射率隨溫度變化的數據非常缺乏,尤其是薄膜形態材料的數據.據文獻報道,不同材料的折射率溫度的變化差異很大,比如碲化物呈現出負的數值,而一般材料折射率都隨溫度的上升而增大。在我們的膜系中,由于是SiO2作為間隔層,因此SiO2的折射率溫度系數起主要的作用。文獻中有晶體石英在可見光范圍內o光和e光的折射率,見表2。也有熔融石英在紅外的折射率溫度系數,在1550 nm時約為+1.1×10-5/℃,但是很難查到在可見光區域內的數據。根據上述的數據,我們可以推斷可見光區SiO2薄膜的折射率溫度系數大概為+0.5×10-5/℃左右。基板的熱膨脹系數,對K9玻璃在-30~70℃范圍內為74×10-7/℃,在100~300℃范圍內為86×10-7/℃。膜系的熱膨脹系數在5.5×10-7/℃左右,泊松比取0.1。濾光片是塑料或玻璃片再加入特種染料做成的,紅色濾光片只能讓紅光通過,如此類推。錫山區質量濾光片客戶至上

但是,即使薄膜的聚集密度大于1,濾光片中心波長仍會出現漂移。已經認識到,影響薄膜濾光片中心波長漂移的不是聚集密度,而且還有薄膜與基板的溫度折射率系數和熱膨脹系數。所以濾光片的中心波長漂移可以簡單地表示為Δλ=薄膜空隙吸潮引起的漂移+溫度折射率變化引起的漂移+熱膨脹引起的漂移。顯然,當采用離子技術使聚集密度提高到1時,吸潮引起的中心波長漂移已可忽略不計,而其他兩種因素上升為主要因素。本文從一般工藝出發,著重考察一下TiO2/SiO2組成的三腔濾光片的光學穩定性與上述三種因素的關系。實驗結果顯示,在可見光區域,對于聚集密度約為0.92的膜系,這三種因素中,吸潮引起的中心波長大,數量級在10 nm左右。對于膠合的膜系來說,膜系空隙中水汽折射率隨溫度的上升而下降引起的中心波長短移大約在1×10-2nm/℃量級。而熱膨脹引起的漂移大約在1×10-3nm/℃量級。南京節能濾光片**知識一般透過的波長較長,多用做紅外濾光片。后者是在一定片基上的。

濾光片產品主要按光譜波段、光譜特性、膜層材料、應用特點等方式分類。光譜波段:紫外濾光片、可見濾光片、紅外濾光片;光譜特性:帶通濾光片、截止濾光片、分光濾光片、中性密度濾光片、反射濾光片;膜層材料:軟膜濾光片、硬膜濾光片;硬膜濾光片不指薄膜硬度方面,更重要的是它的激光損傷閾值,所以它應用于激光系統當中,面軟膜濾光片則主要用于生化分析儀當中。帶通型: 選定波段的光通過,通帶以外的光截止。其光學指標主要是中心波長(CWL),半帶寬(FWHM)。分為窄帶和寬帶。比如窄帶808濾光片NBF-808。短波通型(又叫低波通):短于選定波長的光通過,長于該波長的光截止。 比如紅外截止濾光片,IBG-650。長波通型(又叫高波通):長于選定波長的光通過,短于該波長的光截止 比如紅外透過濾光片,IPG-800。

由于薄膜是柱狀結構,柱狀結構間存在空隙,吸潮前空隙內空氣的折射率為1,吸潮后空隙被水汽填充,折射率變為1.333,因而膜層的折射率,進而光學厚度和光譜特性均引起變化,這就是吸潮引起的光學不穩定性。將我們制備的膜系結構(HLH2LHLHL)3以及相應的折射率代入,并且根據我們的工藝條件,TiO2和SiO2的聚集密度大約在0.92左右,由此對于不同中心波長的紅、綠、藍濾光片,可以計算出相應的吸潮引起的中心波長漂移。在f=1(即完全吸潮)的情況下,針對TiO2和SiO2的不同聚集密度。吸潮情況下低折射率材料SiO2的聚集密度對中心波長的漂移起著主要作用。高折射率材料聚集密度的不同引起的中心波長漂移差別只有1 nm左右,而低折射率材料卻有大約3 nm的變化。原因在于低折射率材料吸潮后,折射率上升相對于原來折射率的比例很高,相當于光學厚度增加的比例大,導致漂移大。更重要的是,SiO2是作為膜系的間隔層,而間隔層對中心波長漂移的影響是大的。水晶濾光片能大限度地解決偽彩,色飄等問題。不會因云臺旋轉,停止等變化和振動造成濾光片移位。

用電子束(EB)蒸發的TiO2和SiO2薄膜系統具有重要的應用。但是用常規的蒸發技術,即使基板的溫度高達300℃以上,薄膜仍呈現出明顯的柱狀結構特性。這種柱狀結構的薄膜,由于膜層中包含著大量的空隙,因此隨著薄膜濾光片吸潮,膜層折射率升高,濾光片的中心波長就會產生明顯的漂移。為了表征這種結構特性,人們提出了聚集密度P,它被定義為薄膜中固體部分的體積與總體積之比。所以它是一個描述薄膜疏松程度的物理量。隨著離子鍍膜技術的發展,諸如離子輔助淀積(IAD),反應離子鍍(RIP)和離子束濺射(IBS)等,薄膜的聚集密度得到了的提高,甚至已經有實驗報道,有些薄膜的聚集密度大于1。這意味著薄膜的密度比自然界中的大塊材料的密度還要高,原因是在高聚集密度的薄膜中,常常呈現出較大的壓應力,致使薄膜具有更高的聚集密度。能很好的感應可見光,阻止紅外線和別的光干擾,是色彩鮮艷逼真,夜晚切換到鍍有通透膜的濾光片。錫山區質量濾光片客戶至上

在水晶上增加AR-COOTRMG重度膜,可達到98%光線的穿透性。白天切換到水晶濾光片狀態。錫山區質量濾光片客戶至上

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