下面為大家介紹一下全自動(dòng)HMDS真空烤箱的整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架：2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃溫度波動(dòng)度：0.5℃4.真空泵：油泵或無油真空泵。真空度：133pa，5.加熱方式：腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板（防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài)）6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片；8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時(shí)間（正常工藝在50分鐘-120分鐘（按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間），為正常工作周期不含降溫時(shí)間（因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫）。上海哪家試驗(yàn)箱廠家值得信賴？做試驗(yàn)箱安裝廠家

本篇介紹專業(yè)全自動(dòng)HMDS真空烤箱，首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。做試驗(yàn)箱安裝廠家試驗(yàn)箱的原理是什么？合肥真萍告訴您。

恒溫恒濕箱試驗(yàn)箱是航空、汽車、家電、科研等領(lǐng)域必備的檢測設(shè)備，用于測試電子、電工及其它產(chǎn)品及材料進(jìn)行高溫、低溫、交變濕熱度或恒定試驗(yàn)的溫度環(huán)境變化參數(shù)及性能。該系列產(chǎn)品適用于航空航天產(chǎn)品、信息電子儀器儀表、材料、電工、電子產(chǎn)品、各種電子元?dú)饧诟叩蜏鼗驖駸岘h(huán)境下、檢驗(yàn)其各項(xiàng)性能指標(biāo)。下面為大家介紹一下真萍科技的恒溫恒濕試驗(yàn)箱的控制特點(diǎn)。試驗(yàn)箱的控制系統(tǒng)可說是整個(gè)設(shè)備的心臟，掌管著制冷、制熱、控濕、循環(huán)、控制等大權(quán)。在制冷方面，壓縮機(jī)是采用德國進(jìn)口的壓縮機(jī)。制冷系統(tǒng)由高溫部分和低溫部分組成，每一部分是一個(gè)相對(duì)單獨(dú)的制冷系統(tǒng)。高溫部分中制冷劑的蒸發(fā)吸收來自低溫部分的制冷劑的熱量而汽化；低溫部分制冷劑的蒸發(fā)則從被冷卻的對(duì)象(試驗(yàn)機(jī)內(nèi)的空氣)吸熱以獲取冷量。高溫部分和低溫部分之間是用一個(gè)蒸發(fā)冷凝器聯(lián)系起來，它既是高溫部分的冷凝器，也是低溫部分的冷凝器。加熱系統(tǒng)采用完全單獨(dú)的鎳鉻合金電加熱式，電阻率大、電阻溫度系數(shù)小，在高溫下變形小且不易脆化，自身加熱溫度可達(dá)1000～1500℃，使用壽命長。

下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的技術(shù)指標(biāo)。1.使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；2.絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；3.加熱元件：石墨加熱棒；4.冷卻方式：氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫；5.控溫穩(wěn)定度：2℃，具有PID參數(shù)自整定功能；6.爐膛溫度均勻度：5℃（恒溫1500℃）；7.氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%；8.極限真空:10-3torr級(jí)；9.抽氣速率：空載下，30min達(dá)到10-2torr10.升溫功率：170kW；11.升溫速率：15℃/min（空載）；12.降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘13.腔體尺寸：1000*1000*1000mm（寬*深*高）合肥真萍告訴您如何正確使用試驗(yàn)箱？

電熱鼓風(fēng)烤箱適用于各種產(chǎn)品或材料及電氣、儀表、元器件、電子、電工及汽車、航空、通訊塑膠、機(jī)械、食品、化工、化學(xué)品、五金工具在恒溫環(huán)境條件下作干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗(yàn)。下面為大家介紹一下真萍科技電熱鼓風(fēng)烤箱的箱體結(jié)構(gòu)。1.本烘箱由室體、加熱系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、送風(fēng)系統(tǒng)、保護(hù)系統(tǒng)等組成。2.箱體采用先進(jìn)設(shè)備制作、業(yè)內(nèi)的制造工藝流程、線條流暢、美觀大方。3.工作室材質(zhì)為不銹鋼、外箱材質(zhì)為優(yōu)良冷軋鋼板，產(chǎn)品外殼使用環(huán)保金屬漆噴制，整體設(shè)計(jì)美觀大方，適合優(yōu)良實(shí)驗(yàn)室的顏色搭配。4.工作室內(nèi)的擱架不可調(diào)節(jié)。試驗(yàn)箱的特點(diǎn)是什么？合肥真萍告訴您。高低溫試驗(yàn)箱批發(fā)

試驗(yàn)箱如何發(fā)揮重要作用？合肥真萍告訴您。做試驗(yàn)箱安裝廠家

精密鼓風(fēng)烘箱適用于電子元器件、橡膠、塑料、裝飾材料等行業(yè)對(duì)溫度均勻性要求比較嚴(yán)格的實(shí)驗(yàn)。下面為大家介紹一下真萍科技精密鼓風(fēng)烤箱的箱體結(jié)構(gòu)。1.門與門框之間采用高性能密封材料及獨(dú)特的橡膠密封結(jié)構(gòu)，密封、耐高溫性、抗老化性好。2.箱內(nèi)風(fēng)道采用雙循環(huán)系統(tǒng)，不銹鋼多翼式離心風(fēng)輪及循環(huán)風(fēng)道組成，置于箱體背部的電加熱器熱量通過側(cè)面風(fēng)道向前排出，經(jīng)過干燥物后再被背部的離心風(fēng)輪吸入，形成合理的風(fēng)道，能使熱空氣充分對(duì)流，使箱內(nèi)溫度相當(dāng)大限度達(dá)到均勻。提高了空氣流量加熱的能力，大幅改善了干燥箱的溫度均勻性。3.加熱器用不銹鋼電加熱管，升溫快，壽命長。做試驗(yàn)箱安裝廠家

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