所述控制器進行第二次減薄厚度確認操作;具體的,通過設置于所述第三沖洗區2的第二輔助厚度測量儀進行厚度檢測,從而實現所述減薄厚度確認操作,當所述減薄厚度未達到目標厚度時,所述玻璃加工治具4可再次進入所述蝕刻區3內進行減薄處理。所述主厚度測量儀32設置在其中對玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區3中并且實時測量玻璃厚度,使得玻璃可更準確地具有目標厚度;所述輔助厚度測量儀設置在所述沖洗區2中,并且再次測量經歷過減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設置在所述蝕刻區3中的所述主厚度測量儀32是否無法正確工作,并且使減薄玻璃的缺陷率降至;且所述輔助厚度測量儀可提前測量待經歷減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設置在蝕刻區3中的主厚度測量儀32是否無法正確工作;所述第二輔助厚度測量儀設置在所述第三沖洗區2,從而在減薄后清洗終完成后,再次進行厚度檢測,從而檢測預從所述玻璃減薄生產線運出的玻璃是否符合標準,并進一步降低減薄玻璃的缺陷率。以上所述為本發明的較佳實施例,對本發明而言是說明性的,而非限制性的。本專業技術人員理解,在本發明權利要求所限定的精神和范圍內可對其進行許多改變,修改,甚至等效,但都將落入本發明的保護范圍內。減薄清洗劑采用獨特配方,提高工作效率。上海好用的減薄用清洗劑廠家現貨
將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地,將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠,如az4620光刻膠,然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠,如az4620光刻膠,之后,將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上,將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件上進行鍵合,鍵合時間20min。s102:通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對待加工表面進行拋光;s103:通過磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨,來對待加工表面進行減薄。可選地,本發明實施例中,s102和s103可以交替進行,也就是說,控制磁轉子旋轉一段時間后,控制磁轉子停止旋轉,并控制噴頭噴涂拋光液,停止噴涂拋光液后,再次控制磁轉子旋轉,以此類推。本發明實施例中,通過磁轉子和噴頭交替工作,實現了減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個過程穩定,速度快,控制性好,重復度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達到20μm,拋光面ra<2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉,因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力。惠州性價比高的減薄用清洗劑價格減薄用清洗劑,助您實現精密加工,提升產品品質。
較佳的,所述沖洗區包括沖洗區、第二沖洗區和第三沖洗區,所述第二沖洗區設置于所述沖洗區和所述第三沖洗區之間,所述沖洗區設置于所述第二沖洗區和所述轉換區之間,所述第三沖洗區設置于所述第二沖洗區和所述蝕刻區之間。較佳的,所述沖洗區設置有輔助厚度測量儀。較佳的,所述第三沖洗區設置有第二輔助厚度測量儀。較佳的,所述轉換區設置為可升降的折疊式結構。較佳的,所述轉換區設置有裝卸臂。與現有技術比較本發明的有益效果在于:1,本發明中所述玻璃減薄生產線采用噴淋減薄的方式對豎直容納在玻璃加工治具中的玻璃進行減薄處理,可實現單次多片玻璃減薄,同時避免浸泡式減薄法中反應產物粘附在玻璃上造成不良品的問題;2,本發明中所述玻璃加工治具在減薄處理時進行往復移動使側支撐件與玻璃之間接觸點產生變化,從而避免所述側支撐件與玻璃之間的接觸點因所述側支撐件的長期接觸造成接觸點無法被噴淋液噴淋而產生的不良次品問題;3,本發明通過所述側支撐件的固定結構,可實現所述側支撐件的位置調節,從而使玻璃加工治具適用于不同尺寸的玻璃并可將不同尺寸的玻璃同時設置于玻璃加工治具上同時進行減薄處理。附圖說明圖1為所述玻璃減薄設備的結構示意圖。
降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷。由于本發明實施例中采用光刻膠對托盤和待加工部件進行了固定,因此,對待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后,還包括:對待加工部件進行清洗;采用特定溶液對光刻膠進行腐蝕,以將待加工部件與托盤分離。具體地,在完成拋光和減薄后,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗,用di水沖洗干凈,40℃的氮氣吹干。之后,將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盤10自動分離,取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發明實施例提供的方法,還包括:在磁轉子運行一段時間后,更換磁轉子。如磁轉子12工作1小時后,可以將磁轉子12更換為新的磁轉子,以使磁轉子與待加工表面貼合緊密,避免了傳統減薄工藝中由于轉子形變誤差造成的加工精度失真。本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述,每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處,各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實施例公開的裝置而言,由于其與實施例公開的方法相對應,所以描述的比較簡單,相關之處參見方法部分說明即可。對所公開的實施例的上述說明。減薄清洗劑,輕松解決涂層過厚問題,讓您的產品更好。
在本發明的一個實施例中,拋光液110的主要成分包括:碳化硅顆粒,顆粒直徑為50nm~200nm,體積比為3%~5%;次氯酸鹽,體積比為30%~40%;氫溴酸,體積比為5%~7%,di水,體積比50~60%。本發明的一個實施例中,如圖3所示,磁轉子12包括截面為半圓形的柱狀磁性結構120和位于柱狀磁性結構120的底部平面的研磨層121,以通過研磨層121對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨。當然,本發明并不僅限于此,在其他實施例中,可以根據實際需求選擇合適的磁轉子形狀。可選地,研磨層121為金屬氧化物層,進一步可選地,金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地,研磨層121的厚度為10μm。本發明實施例中,如圖4所示,磁轉子12沿箭頭所示方向旋轉,如沿逆時針或順時針方向旋轉,并且,磁轉子12的長度近似等于待加工部件20如inp基晶圓的直徑,以對整個待加工表面進行研磨。本發明實施例中,拋光減薄裝置還包括控制部件。控制部件與磁轉子12和噴頭11相連,用于控制噴頭11和磁轉子12交替工作,以對待加工表面交替進行拋光和減薄。其中,控制部件通過脈沖方式控制噴頭11和磁轉子12交替工作。可選地,控制部件控制磁轉子12的轉速為80rpm~200rpm。選擇減薄用清洗劑,為您的加工過程保駕護航。揚州國產減薄用清洗劑費用
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從而在玻璃側部提供支撐效果,通過所述底支撐件43和所述側支撐件44實現玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撐穩定效果。較佳的,所述底支撐件43和所述側支撐件44可均采用ptfe材質。較佳的,所述側支撐件44設置為叉狀型結構,即所述側支撐件44包括兩叉腳,所述玻璃側邊邊緣設置于兩所述叉腳間,兩所述叉腳在一端連接,兩所述叉腳間距離從連接端向非連接端的方向逐漸增大,兩所述叉腳間的大距離大于玻璃的厚度,限制玻璃兩對應側部邊緣的兩所述側支撐件44之間的水平距離大于玻璃兩側部邊緣之間的水平距離,即當玻璃通過兩側的所述側支撐件44進行支撐限制時,玻璃的兩側部邊緣在兩所述叉腳間空間內均具有一定的調整間隙,從而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31內往復運動,玻璃的兩側部邊緣相較于所述側支撐件44進行一定的位置移動,從而避免所述側支撐件44長期于玻璃的同一位置接觸緊貼。所述側支撐件44的結構設置,使所述玻璃加工治具4在所述腔室31內沿直線往復運動的過程中,所述側支撐件44與玻璃之間的接觸點發生變化,從而避免所述側支撐件44與玻璃之間的接觸點因所述側支撐件44的長期接觸造成接觸點無法被噴淋液噴淋,若接觸點無法被噴淋,易造成玻璃的減薄缺陷。上海好用的減薄用清洗劑廠家現貨